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[发明专利]一种适用于大尺寸光纤预制棒的掺氟石英管及其制备方法-CN202011208238.5有效
发明人：李宝东;郭洁;郇朝阳;郑勇;王明轩;劳雪刚;肖华;马康库;鞠磊;段晓峰;胡景;钟媛;和联科 -专利权人：江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C03B37/014 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于大尺寸光纤预制棒的掺氟石英管制备方法，包括如下步骤：在靶棒的表面上沉积石英粉体，得到疏松粉棒；将得到的疏松粉棒进行充分脱水处理，得到纯化疏松粉棒；向烧结炉中通入CF4和氦气，并在一定的温度条件和压力条件下，对纯化疏松粉棒进行预热加压处理，得到纯化掺氟疏松棒；向烧结炉中通入CF4和氦气，对经过预热加压处理后的纯化掺氟疏松棒进行烧结；对烧结玻璃棒进行钻孔及内孔处理后，得到掺氟石英管。利用该制备方法获得的掺氟石英管不仅具有较低的折射率，并且尺寸较大，可以满足大尺寸光纤预制棒的使用要求。
一种适用于尺寸光纤预制石英管及其制备方法

[发明专利]一种超低损耗光纤-CN202010782083.X有效
发明人：翟云霄;肖华;劳雪刚;沈震强;张飞;郇朝阳;李宝东 -专利权人：江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司
申请日： 2020-08-06 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C03B37/027 文献下载
摘要：本发明提供了一种超低损耗光纤，其在1550nm的有效面积为110‑150μm2，截止波长小于1530nm，光纤从中心到外依次包括芯层，第一包层，第二包层，第三包层，芯层从中心向外延伸的半径是R1，R1的范围8～11μm，芯层折射率差△n0的范围是‑1x10‑4～1x10‑4，第一包层的厚度是R2，R2的范围是6～8μm，第一包层的相对折射率差△n1的范围是‑6.0x10‑3～‑6.5x10‑3；第二包层区的厚度是R3，R3的范围是7～9μm，第二包层区的相对折射率差△n2的范围是‑4.0x10‑3～‑5.5x10‑3，第三包层的厚度是R4，光纤的外径是R1+2R2+2R3+2R4它的值取决于光纤的设计，第三包层区的相对折射率差△n3的范围是‑2.5x10‑3～‑3.0x10‑3。
一种损耗光纤

[实用新型]一种摇摆臂环抛装置-CN202222513822.2有效
发明人： 郇朝阳;肖华;王智晨;蒋柯杰;黄加;张勇 -专利权人：江苏亨芯石英科技有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种摇摆臂环抛装置，包括调节组件，其包括转动设置的主支撑臂，主支撑臂铰接有前臂，且主支撑臂的侧面设置有导轨，导轨上设置有滑块，滑块上连接有调节杆，调节杆与前臂铰接；夹持组件，其包括支撑架，支撑架与前臂连接，支撑架上对称设置有多个滚轮，且支撑架上连接有第一驱动源，第一驱动源驱动任一滚轮转动；摆动组件，其包括第二驱动源和传动杆，第二驱动源竖直设置于环抛机台面上，第二驱动源的输出端连接有偏心轮，传动杆的一端与偏心轮转动连接，另一端与前臂连接。能够使工件在抛光盘上进行摇摆式的移动，工件与抛光盘的摩擦涉及整个盘面，能够提高抛光模的损耗均匀性，延长抛光模的修正周期和使用寿命，降低生产的成本。
一种摇摆臂环抛装置

[发明专利]一种高均匀石英砣的热处理方法及生产装置-CN202211034692.2在审
发明人：张玉;肖华;郇朝阳;南晶 -专利权人：江苏亨芯石英科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C03B25/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种高均匀石英砣的热处理方法及生产装置，包括酸洗高纯度合成石英砣，在石英砣两端均焊接石英靶棒，并将石英砣放置在石英筒的筒口；控制石英砣匀速的从石英筒的筒口经设定的第一低温区运动至设定的高温区，再进入设定的第二低温区内进行热处理；石英砣的顶端通过第二低温区后，停止高温区、第一低温区和第二低温区的加热，并将石英砣匀速上升至石英筒的筒口；待石英砣冷却后，取下包含石英靶棒的石英砣，再将含石英靶棒的石英砣整体倒置，再重复进行热处理过程。本发明可以提高石英砣的光学均匀性，保证材料较低的应力双折射，且热处理过程材料不受污染，有效降低高纯度石英原料的浪费，也避免因杂质污染而影响材料的光学均匀性。
一种均匀石英热处理方法生产装置

[实用新型]一种合成石英的沉积窑炉-CN202222261879.8有效
发明人：李建均;肖华;吴龙波;杨金鑫;钟媛;郇朝阳;南晶 -专利权人：江苏亨芯石英科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： C03B19/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种合成石英的沉积窑炉，包括：炉体，炉体内设有腔体，腔体从上至下分为沉积反应区、沉积定型区和沉积稳定区，腔体顶部设有喷灯孔；喷灯，装配在喷灯孔内；喷灯用于向腔体内喷吹四氯化硅、氢气和氧气；充氦通道，用于向沉积反应区通入氦气，通过氦气排除熔融过程中产生的初期未完全封闭的微气泡；充氯通道，用于向沉积定型区通入氯气，通过氯气实现顶层初长料面层的表面脱羟和提纯；抽废烟道，用于在沉积稳定区将沉积反应区和沉积定型区产生的反应废气导出，并给石英砣表面降温至软化点温度以下。本实用新型合成石英的沉积窑炉可在CVD工艺上实现制备高均匀性、低羟基含量、低金属杂质含量和低气泡缺陷的合成石英产品。
一种合成石英沉积

[发明专利]一种高光学均匀性石英玻璃的制备工艺-CN202210675643.0在审
发明人：刘宝;肖华;南晶;张玉;钟媛;杨金鑫;吴龙波;郇朝阳 -专利权人：江苏亨芯石英科技有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高光学均匀性石英玻璃的制备工艺，包括两次槽沉工艺，具体包括以下步骤：(1)将表面经酸洗处理后的石英玻璃原料放入第一模具中，放入槽沉炉内，将槽沉炉抽真空，以10～15℃/min升温至1750‑1900℃，充氮气保持炉内微正压，保温1～5h，再以5～10℃/min降至室温取出，完成第一次槽沉处理；(2)对第一次槽沉处理后的料进行酸洗处理，然后置于第二模具中，放入槽沉炉内，抽真空以5～10℃/min升温至1600～1750℃，充氮气保持炉内微正压，保温2～8h，然后进行梯度降温至室温。本发明通过上述工艺可将长径比为2～10、光学均匀性较差的石英玻璃处理获得高光学均匀性、低应力、缺陷少的石英玻璃，满足光学及半导体领域对石英玻璃的性能要求。
一种光学均匀石英玻璃制备工艺

[发明专利]一种生产半导体掩模版用合成石英材料的方法-CN202210396733.6在审
发明人：杨金鑫;肖华;吴龙波;李建均;南晶;王智晨;钟媛;吴栋伟;刘宝;任其广;郇朝阳;费苗裔 -专利权人：江苏亨芯石英科技有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种生产半导体掩模版用合成石英材料的方法，包括：(1)采用气相轴向沉积法将硅源沉积于引杆上得到低密度SiO2疏松体；其中，在沉积过程中，控制所述沉积腔体内为负压环境，温度不高于500℃；(2)将低密度SiO2疏松体转移至烧结炉中，在充满脱羟气流和氧气的密闭环境中，升温至1100～1300℃，使低密度SiO2疏松体脱水；(3)在惰性气体环境中，向烧结炉中通入含氟气体，并加热至1400～1600℃，使得低密度SiO2疏松体玻璃化以形成透明石英玻璃；在脱水和玻璃化的过程中，低密度SiO2疏松体保持纵向不运动，沉积腔体内纵向与径向的温度梯度≤2℃；(4)对透明石英玻璃进行退火处理，得到合成石英材料。本发明的方法生产过程的连续性高，合成石英产品T170‑193nm≥95％。
一种生产半导体模版合成石英材料方法

[发明专利]一种用于制备半导体掩膜版用高品质石英的装置和方法-CN202210334749.4在审
发明人：李建均;肖华;吴龙波;杨金鑫;钟媛;任其广;刘宝;南晶;张玉;郇朝阳 -专利权人：江苏亨芯石英科技有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制备半导体掩膜版用高品质石英的装置和方法，所述装置包括沉积炉体，由炉壁及其围成的沉积腔体组成，所述炉壁为中空结构并开设一进风口和出风口，所述进风口连接温度控制系统；基础杆，所述基础杆穿过炉壁伸入沉积空腔中，伸入的一端连接沉积连接套，用于连接靶棒，另一端连接旋转升降系统，且与称重记录仪相关联；进风装置与抽风管，相对设置于沉积腔体的两侧并与炉壁的空腔连通；燃烧组件，包含相邻设置于沉积腔体侧面的原料燃烧器和辅助燃烧器；以及设置于沉积炉体外围的激光控制装置；本发明通过上述称重记录仪、激光控制装置、温度控制系统控制沉积过程中松散体的密度变化，制备得到半导体掩膜板用高品质石英。
一种用于制备半导体掩膜版用高品质石英装置方法

[发明专利]一种石英沉积装置及方法-CN202210515625.6在审
发明人：吴龙波;肖华;杨金鑫;李建均;钟媛;任其广;刘宝;南晶;王智晨;郇朝阳 -专利权人：江苏亨芯石英科技有限公司
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C03B19/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种石英沉积装置及方法，包括用于调整喷灯位置的调节装置，同时配合控制器及测点装置，可以使喷灯喷射的料线在支撑基础上表面基底弧面上的料点与测点装置设定的目标料点精确重合，实现料点定点化、重复性控制要求，保证石英砣的均一性；且还设置有砣径监测单元实时监测石英砣砣径的变化情况，通过温控装置控制中空层的温度以对炉膛内胆内壁温度及石英砣表面温度进行调控，保证料砣直径的一致性；同时还设置有排废单元和补风单元，排废单元可以监测并调整各排废烟道的压力趋于一致，补风单元补入恒温洁净新风，进一步保证产品最终的质量；发明能够简化生产过程，制备得到质量更高、均匀性更好的石英砣，并降低了生产的成本，适于实用。
一种石英沉积装置方法

[实用新型]一种高纯石英砂水淬水循环利用装置-CN202121277102.X有效
发明人：任其广;肖华;何君君;刘宝;孙国峰;郇朝阳;杨金鑫;吴龙波;张玉 -专利权人：江苏亨通智能科技有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C02F9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高纯石英砂水淬水循环利用装置，包括水淬容器、过滤箱和水箱；所述水淬容器顶部设有漏斗式接口，所述漏斗式接口用于承接石英砂及所述水箱的供水，所述水淬容器底部连接有压力供气装置；所述过滤箱设有过滤部和出水部，所述过滤部能够过滤所述水淬容器的出水到所述出水部，所述出水部连接所述水箱。本实用新型解决现有高温水淬接料带来的二次污染、质量不稳定，劳动强度大、生产效率低及纯水使用成本高等问题。
一种高纯石英砂水循环利用装置

[实用新型]一种混合酸液高温氯化提纯石英砂装置-CN202121528756.5有效
发明人：任其广;肖华;刘宝;孙国峰;郇朝阳;杨金鑫;吴龙波;南晶 -专利权人：江苏亨通智能科技有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： C01B33/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种混合酸液高温氯化提纯石英砂装置。本实用新型包括加热反应机构，所述加热反应机构包括一号石英加热管、第一传动系统、用于对所述一号石英加热管进行加热的一号炉以及用于控制所述一号炉的加热温度的第一温控系统，所述一号石英加热管的两个管口分别为一号石英砂入口和一号石英砂出口，还包括预加热机构和酸液混合添加机构，所述预加热机构包括二号石英加热管、第二传动系统、第二温控系统，所述二号石英加热管的两个管口分别为二号石英砂入口和二号石英砂出口，所述酸液混合添加机构包括脉冲式输送组件、第一漏斗组件以及第二漏斗组件。本实用新型能安全有效的对石英砂进行提纯。
一种混合高温氯化提纯石英砂装置

[发明专利]一种混合酸液高温氯化提纯石英砂装置及方法-CN202110764711.6在审
发明人：任其广;肖华;刘宝;孙国峰;郇朝阳;杨金鑫;吴龙波;南晶 -专利权人：江苏亨通智能科技有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C01B33/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种混合酸液高温氯化提纯石英砂装置及方法。本发明包括加热反应机构，所述加热反应机构包括一号石英加热管、第一传动系统、用于对所述一号石英加热管进行加热的一号炉以及用于控制所述一号炉的加热温度的第一温控系统，所述一号石英加热管的两个管口分别为一号石英砂入口和一号石英砂出口，还包括预加热机构和酸液混合添加机构，所述预加热机构包括二号石英加热管、第二传动系统、第二温控系统，所述二号石英加热管的两个管口分别为二号石英砂入口和二号石英砂出口，所述酸液混合添加机构包括脉冲式输送组件、第一漏斗组件以及第二漏斗组件。本发明能安全有效的对石英砂进行提纯。
一种混合高温氯化提纯石英砂装置方法

[发明专利]一种高纯石英砂水淬水循环利用装置及方法-CN202110639663.8在审
发明人：任其广;肖华;何君君;刘宝;孙国峰;郇朝阳;杨金鑫;吴龙波;张玉 -专利权人：江苏亨通智能科技有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： C01B33/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种高纯石英砂水淬水循环利用装置及方法，包括水淬容器、过滤箱和水箱；所述水淬容器顶部设有漏斗式接口，所述漏斗式接口用于承接石英砂及所述水箱的供水，所述水淬容器底部连接有压力供气装置；所述过滤箱设有过滤部和出水部，所述过滤部能够过滤所述水淬容器的出水到所述出水部，所述出水部连接所述水箱。本发明解决现有高温水淬接料带来的二次污染、质量不稳定，劳动强度大、生产效率低及纯水使用成本高等问题。
一种高纯石英砂水循环利用装置方法

[发明专利]一种利用硅废料和锰矿制备Si-Mn合金的方法-CN202011530454.1在审
发明人：雷云;何勇;马文会;郇朝阳;赵泽华;雷敏鹏 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C22C1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用硅废料和锰矿制备Si‑Mn合金的方法，属于固废资源利用和材料制备技术领域。本发明将硅废料、锰矿和造渣剂混合，进行高温熔炼，经渣金分离后得到Si‑Mn合金和废渣；在真空或惰性气氛下，将Si‑Mn合金经定向凝固或区域熔炼进行分离和提纯得到高纯硅和共晶硅锰合金，或者硅锰金属间化合物和共晶硅锰合金。本发明可以回收利用工业生产中的硅废料，处理低品位锰矿，制备硅锰合金和高纯硅，或者硅锰金属间化合物和共晶硅锰合金材料。
一种利用废料锰矿制备 si mn 合金方法

[发明专利]一种抗弯曲光纤的制造方法及其对应的光纤-CN202010781833.1在审
发明人：钟媛;姚艳;王亚玲;冯永明;和联科;郇朝阳;劳雪刚;沈震强;肖华 -专利权人：江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司
申请日： 2020-08-06 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： C03B37/027 文献下载
摘要：本发明提供了一种抗弯曲光纤的制造方法，其制造形成的抗弯曲光纤适合室内狭窄环境的密集布线。一种抗弯曲光纤的制造方法，包含如下步骤：S1.通过VAD法制备松散体，松散体包含芯层和内包层；S2.松散体完成沉积后转入烧结炉进行脱水和烧结，得到烧结芯棒；S3.烧结芯棒进行延伸，得到第一延伸芯棒；S4.第一延伸芯棒、掺氟套管、合成套管进行酸洗，酸洗后先将掺氟套管插入合成套管中，再将第一延伸芯棒插入掺氟套管中形成组装芯棒；S5.对组装芯棒进行延伸，得到第二延伸芯棒；S6.第二延伸芯棒、不含氯的合成石英套管进行组装得到光纤预制棒，对该光纤预制棒进行拉丝，得到抗弯曲光纤。
一种弯曲光纤制造方法及其对应

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