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- [发明专利]一种镜头照明系统-CN202310814042.8在审
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黄光蓉;朱红伟;邱盛平
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成都联江科技有限公司
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2023-07-04
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2023-10-24
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G03F7/20
- 本发明公开一种镜头照明系统,所述镜头照明系统包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构;其中,所述反射镜结构包括第一反射镜、第二反射镜和调节件,所述第一反射镜和所述第二反射镜依次设置在所述镜头照明系统的光路上,所述调节件用以调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的安装位置,以使得自所述第二反射镜反射的光传输至所述数字微镜结构。本发明旨在解决现有相关技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置,对于后期装调反射镜时,反射镜的角度很难保证光学设计角度,从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果的问题。
- 一种镜头照明系统
- [发明专利]一种具有防呆功能的吸笔-CN201811262175.4有效
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张进;蔡宾;邱盛平
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中山联合光电科技股份有限公司
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2018-10-27
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2023-10-17
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B25B11/00
- 本发明涉及监控镜头组装设备技术领域,尤其涉及一种具有防呆功能的吸笔,包括有吸笔本体,吸笔本体上设有真空管接口和用于吸取镜片的吸附端,吸笔本体上还设有空气通道,空气通道贯穿吸笔本体并将真空管接口与吸附端连通,吸附端包括有用于贴合镜片的吸附面,吸附面与镜片上其中一个曲面的弧面结构相适配,所述吸附面上设有凹槽结构,所述凹槽结构根据镜片的类型及吸附面的弧面结构设置成可以与空气通道连通或与外界大气连通,从而使吸笔仅能从其中一个曲面将镜片吸起,具有结构简单,使用方便的特点,可有效防止镜片组装反。
- 一种具有功能
- [发明专利]一种光学镜头的自锁结构-CN201810500725.5有效
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刘辉;邱盛平;吕祖文;杨勇;曾庆援;尹鸿林;葛承
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中山联合光电科技股份有限公司
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2018-05-23
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2023-10-10
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G02B7/02
- 本发明公开了一种光学镜头的自锁结构,包括底座,底座上设置有能相对其在水平方向上移动并用于安装镜片的镜头支架,底座上还设置有自锁结构,自锁结构包括有与底座连接的支撑座,支撑座上开设有可供镜头支架部分穿过的第一通孔,支撑座上设置有能相对支撑座转动的转盘,转盘上设置有第二通孔,第二通孔的内壁上设置有两个顶位,支撑座上还滑动设置有锁止滑块。本发明在底座上设置有可将镜头支架位置锁定的自锁结构;当自锁结构将镜头支架锁止后,镜头为不带防抖功能的镜头,当自锁结构将镜头支架松开后,镜头为带防抖功能的镜头;因此,光学防抖镜头可以根据需要进行通断电,减轻防抖机构的负荷,延长防抖机构的使用寿命。
- 一种光学镜头结构
- [发明专利]基于孔径压缩的投影仪光源装置-CN201811403796.X有效
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李求果;邱盛平;杨翼
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中山联合光电科技股份有限公司
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2018-11-23
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2023-10-03
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G03B21/20
- 本发明涉及投影仪技术领域,特别是涉及一种基于孔径压缩的投影仪光源装置,通过耦合两路出光孔径压缩的白色光束形成白色光源,第一路为第一彩光发生器发出的第一彩色光束经过第一凸透镜的聚焦作用之后,穿过第一曲面反射镜上设有的小孔进入第一卡塞格林反射镜之内,输出第一准直彩色光束;第一准直彩色光束的上半部分经双面反射镜到达第一反射镜,再以偏移原来的路径经双面反射镜反射回第一卡塞格林反射镜之内,多次反射之后最终也成为第一准直彩色光束的下半部分;第二路为与第一路相同的配置,得到第二准直彩色光束的左半部分,再与第一准直彩色光束的下半部分耦合形成白色光源;本方案得到的的光源稳定,亮度高,成本低,寿命长,绿色环保。
- 基于孔径压缩投影仪光源装置
- [发明专利]一种变倍照明镜头以及照明系统-CN202310790140.2在审
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江宝林;朱红伟;邱盛平
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成都联江科技有限公司
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2023-06-29
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2023-09-29
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F21V14/06
- 本发明公开一种变倍照明镜头以及照明系统,其中,所述变倍照明镜头包括透镜组件以及驱动装置,所述透镜组件包括由多个透镜组成的多个透镜组,多个所述透镜组在光轴方向上自出光侧至光源依次包括固定透镜组、变倍透镜组以及补偿透镜组;所述驱动装置通过驱动连接变倍透镜组以及所述补偿倍镜组,以改变相邻所述透镜组之间的间隔以及所述补偿透镜组与光源的间隔实现变倍;其中,所述变倍照明镜头的最小焦距为Fw,最大焦距为Ft,则Ft/Fw≤104;所述变倍照明镜头的光学总长为TTL,TTL≤140mm。本发明旨在提供一种形式简单,变倍比大的变倍照明镜头。
- 一种照明镜头以及系统
- [发明专利]一种变倍照明镜头-CN202310811157.1在审
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张钰;朱红伟;邱盛平
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成都联江科技有限公司
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2023-07-03
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2023-09-19
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G03F7/20
- 本发明公开一种变倍照明镜头,其中,变倍照明镜头包括透镜组件以及驱动装置,透镜组件包括由多个透镜组成的多个透镜组,驱动装置驱动连接多个透镜组,多个透镜组在光轴方向上自物面至像面依次包括:具有正光焦度的第一透镜组;具有负光焦度的第二透镜组;具有正光焦度的第三透镜组;通过驱动装置改变相邻透镜组之间的间隔以及第三透镜组与像面的间隔实现变倍;第一透镜组的焦距为f1,则3.25mm≤f1≤40.5mm;第二透镜组的焦距为f2,则‑50.85mm≤f2≤‑3.25mm;第三透镜组的焦距为f3,则50mm≤f3≤160mm。本发明旨在解决现有使用数字微镜组件(DMD)作为光刻掩模的无掩膜光刻技术中,照明系统中照明区域超过DMD曝光区域面积,导致入射光存在浪费的问题。
- 一种照明镜头
- [发明专利]双远心光刻镜头和光刻装置-CN202310796975.9在审
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樊凯;朱红伟;邱盛平
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成都联江科技有限公司
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2023-06-30
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2023-09-12
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G03F7/20
- 本发明公开一种双远心光刻镜头和光刻装置,双远心光刻镜头包括光阑、以及自物侧至像侧依次设置的多个透镜,位于光阑靠近物侧的一侧的多个透镜构成前组光学系统,位于光阑靠近像侧的一侧的多个透镜构成后组光学系统,前组光学系统和后组光学系统形成双远心光路,在多个透镜的曲率间隔和折射率随双远心光刻镜头的温度变化而变化时,通过合理搭配不同材料的镜片和隔圈,实现了曲率间隔变化和折射率变化的相互抵消,能够在20℃到60℃以内的温度范围内保证光学性能稳定,从而降低了系统温度对光学性能的影响,紫外宽光谱双远心光刻镜头具有更高的透过率和更稳定的性能,能够有效解决光源功率升高导致系统温度上升带来的焦面热漂移问题。
- 双远心光刻镜头装置
- [发明专利]远心激光镜头-CN202310782175.1在审
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陈劲松;朱红伟;邱盛平
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成都联江科技有限公司
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2023-06-28
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2023-09-12
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G02B13/22
- 本发明公开一种远心激光镜头,所述远心激光镜头包括自物侧至像侧依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组,其中,所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均采用玻璃透镜,所述远心激光镜头的光焦度为Φ,所述第一透镜组的光焦度为ΦG1,所述第二透镜组的光焦度为ΦG2,所述第三透镜组的光焦度为ΦG3,其中:‑17.037≤ΦG1/Φ≤17.037,‑0.1893≤ΦG2/Φ≤0.3786,‑18.93≤ΦG3/Φ≤24.609,第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组均采用玻璃透镜,其高温工作性能良好,工作温度范围可达20℃~60℃,并且,对所述第一透镜组、所述第二透镜组和所述第三透镜组的光焦度的设计,能够让其在波长为395±5nm与405±10nm两光源共用下,畸变和色差都控制在预设值的范围内。
- 激光镜头
- [发明专利]一种光学防抖结构-CN201810501267.7有效
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刘辉;邱盛平;吕祖文;杨勇;曾庆援;尹鸿林;葛承
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中山联合光电科技股份有限公司
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2018-05-23
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2023-09-12
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G02B27/64
- 本发明公开了一种光学防抖结构,包括有用于安装第一镜片的底座,所述底座上设置有能相对其在水平方向上移动并用于安装第二镜片的镜头支架,所述底座与镜头支架之间设置有防抖机构;所述防抖机构包括有设置在所述镜头支架上的第一磁石,所述底座上设置有与第一磁石配合而将镜头支架与底座连接的第二磁石,所述的底座上还设置有在通电后能使第二磁石产生磁力的驱动线圈,所述底座与镜头支架之间设置有能相对两者滚动并使两者保持一定距离的滚珠。本发明的底座与镜头支架之间设置有防抖机构,通过滚珠隔开一定距离,耐久性能和稳定性优越,结构简单,组装方便,适用性强;采用滚珠,且滚珠上下各设置有垫片,耐磨性能好。
- 一种光学结构
- [发明专利]变焦镜头和激光照明装置-CN202310232940.2在审
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张钰;朱红伟;邱盛平
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成都联江科技有限公司
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2023-03-10
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2023-09-05
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G02B15/173
- 本发明公开了一种变焦镜头和激光照明装置,所述变焦镜头包括镜筒以及透镜群,所述透镜群包括自所述物侧至所述像侧依次设置的光焦度为正的第一透镜群、光焦度为负的第二透镜群、光焦度为正的第三透镜群,通过三个透镜群的合理设置以及所述变焦镜头广角端焦距和各透镜群焦距比值的有条件的限制,所述变焦镜头的变倍率为150X,其光学总长控制在100mm以内,所述变焦镜头的光圈F数能达到2.27,能适用800~1100nm波长内的范围,使得所述变焦镜头具有小体积、高倍率、光斑均匀、低成本的特点,以改善现有激光照明镜头存在的变焦范围小、镜头体积大、适用波长范围窄等技术问题。
- 变焦镜头激光照明装置
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