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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种薄膜沉积设备-CN202310919712.2在审
发明人：刘镇颉;宋宇;柳雪;叶五毛;孙晓波;连德宝;殷皓 -专利权人：拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
申请日： 2023-07-25 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜沉积设备，包括：气体传输装置，其一端连接供气设备，以获取气态反应源，另一端连接反应腔；过滤装置，设置于所述气体传输装置中，用以过滤所述气态反应源中的杂质颗粒，向所述反应腔输送所述气态反应源中的反应气体；以及所述反应腔，获取所述反应气体以进行半导体沉积工艺。上述薄膜沉积设备能够及时收集气态反应源中的杂质颗粒，尤其是针对微小的杂质颗粒对其设有二次过滤，避免微小的杂质颗粒随着气流一并前行，长时间后堵塞管路中的气动阀门，不仅延长了过滤装置的使用时间，而且也延长了气动阀门的使用寿命，保证了反应腔内真空吸附功能的稳定性，进而优化薄膜沉积的颗粒度表现。
一种薄膜沉积设备

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