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- [发明专利]多轴离子切割装样装置-CN202211149002.8有效
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杜忠明;杨继进
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贝光科技（苏州）有限公司
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2022-09-21
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2022-12-23
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B23K10/00
- 本发明涉及抛光技术领域，尤其涉及一种多轴离子切割装样装置，旨在解决校准装样精度差、效率低的问题。本发明包括离子切割台，离子切割台包括样品托、离子束遮挡机构、第一旋转机构、竖直移动机构、第二旋转机构和水平移动机构；样品托用于承载样品；离子束遮挡机构包括离子束遮挡板，离子束遮挡板与样品托相对设置，第一旋转机构包括第一旋转台，样品托卡接于第一旋转台；第一旋转台的轴线水平设置，配置为绕自身轴线转动；竖直移动机构包括竖直移动滑块；第二旋转机构包括第二旋转台；水平移动机构包括水平移动滑块。本发明通过各旋转机构、移动机构的配合实现样品的角度和位置调整，各机构调整便捷、结构紧凑，极大提高了校准的效率和精度。
- 离子切割装置
- [发明专利]一种镜像电极束流控制的离子发生装置-CN202210175769.1在审
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杨继进;杜忠明
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贝光科技（苏州）有限公司
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2022-02-24
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2022-06-21
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C23F4/00
- 本发明公开了一种镜像电极束流控制的离子发生装置，包括：阳极，所述阳极上设有进气孔；阳极的两端设有对称的刻蚀阴极和测量阴极，所述刻蚀阴极上设有第一电离腔及与其连通的第一离子通道；所述测量阴极上设有第二电离腔及与其连通的第二离子通道；由于刻蚀阴极和测量阴极是对称的，当从阳极的进气孔通入气体后，气体电离形成的离子会在电势作用下飞向左右两侧的阴极，由于从两阴极端飞出的离子束电流是一样的，刻蚀阴极端飞出的离子束电流用于抛光或者切割，测量阴极端的离子束电流进入法拉第杯中，通过法拉第杯间接测量用于抛光或切割的有效电流，进而实现在抛光或切割的过程对抛光电流进行实时检测，便于控制抛光或切割的质量和效率。
- 一种电极控制离子发生装置
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