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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板支撑单元-CN201910330674.0有效
发明人： 许龙会;李东熙 -专利权人： PSK控股公司;塞米吉尔公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种支撑基板的基板支撑单元。一实施例的基板支撑单元包括：支撑板，在上面形成有形成真空压的多个吸附孔，以吸附基板；真空吸附单元，将真空压施加至所述吸附孔，所述真空吸附单元包括：压力测定部件，测定所述吸附孔的内部气压；吸气单元，吸入所述吸附孔内的气体而排出，能够调节所述吸附孔内的气体的吸入力；控制部，控制所述吸气单元，以根据由所述压力测定部件测定的压力而调节所述吸入力。
支撑单元

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共 1 条

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