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[实用新型]一种曝光机UVLED光源机构-CN201420744148.1有效
发明人：王华;陈志特;杜金铃;蒋斌;袁正义;苏红钿 -专利权人：东莞科视自动化科技有限公司
申请日： 2014-12-01 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了曝光机UVLED光源机构，包括UVLED光源发射装置、复眼透镜组、平面光镜、两组曲面反光镜；UVLED光源发射装置包括UVLED阵列式发光单元、聚光透镜组，其中，UVLED阵列式发光单元包括多颗阵列式排列的UVLED，每颗UVLED均在其正前方安装一组聚光透镜组，使其发射出的紫外光束经过聚光透镜组后，发射角度减小；复眼透镜组由两片形状相似的复眼透镜平行放置组成，每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜；平面光镜安装在移动装置上，通过该移动装置调整平面光镜的位置，改变紫外光束的方向；两组曲面反光镜对称设置于玻璃载物台上下两侧，分别对平面光镜的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整，将扇形分布的光束转变为平行光束，反射到玻璃载物台上。
一种曝光 uvled 光源机构

[发明专利]一种曝光机光源改造方法及UVLED光源机构-CN201410718824.2在审
发明人：王华;陈志特;杜金铃;蒋斌;袁正义;苏红钿 -专利权人：东莞科视自动化科技有限公司
申请日： 2014-12-01 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光机光源改造方法，其包括如下步骤：1)设置UVLED光源发射装置，该UVLED光源发射装置包括UVLED阵列式发光单元、聚光透镜组，其中，UVLED阵列式发光单元包括多颗阵列式排列的UVLED，每颗UVLED均在其正前方安装一组聚光透镜组，使其发射出的紫外光束经过聚光透镜组后，发射角度减小；2)设置复眼透镜组，该复眼透镜组由两片形状相似的复眼透镜平行放置组成，每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜；3)设置平面光镜；4)设置两组曲面反光镜，分别对步骤3)中平面光镜的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整，将扇形分布的光束转变为平行光束，反射到玻璃载物台上。本发明还公开了上述方法形成的曝光机UVLED光源机构。
一种曝光光源改造方法 uvled 机构