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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种高温扩散氧化退火工艺用炉体、制造装备及制造工艺-CN202310931508.2在审
发明人：张良;陈颖敏 -专利权人： 苏州金沐智能科技有限公司
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F27D1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温扩散氧化退火工艺用炉体、制造装备及制造工艺，其中，炉体包括基体部；基体部为两端贯通的筒状结构，且材质为碳化硅；基体部的炉壁内设置有电热元件。制造装备包括成型模以及液体池；成型模包括柱状的模体，模体的两端均安装有端板，分别为第一端板以及第二端板；第一端板以及第二端板分别具有外凸于模体的凸缘部，且两者的凸缘部之间连接有多根可拆卸的轴体；模体上安装有外凸的板体；还包括抽吸管道，抽吸管道的一端连接端板。本发明中，采用碳化硅作为炉体的构成材质，使得炉体具有很强的耐热性、导热性以及很长的使用寿命。制造装备的设计以及制造工艺的制定符合炉体的结构特征，可方便生产炉体，且具有较高的生产效率。
一种高温扩散氧化退火工艺用炉体制造装备

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