专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种单晶硅棒生产用水冷屏-CN202123002481.4有效
  • 罗才军;陈浩;乃家旺;李国华;刘忠琼;张军;马自成 - 四川永祥光伏科技有限公司
  • 2021-12-02 - 2022-06-14 - C30B15/00
  • 本实用新型涉及晶棒生产设备技术领域,提供一种单晶硅棒生产用水冷屏,包括中部沿轴向贯穿的筒状夹套、进水管及出水管,筒状夹套具有一上沿呈环形带状结构的直筒部,进水管连接于直筒部上沿一侧,出水管连接于直筒部上沿另一侧且与进水管相对设置;进水管的出水口位于筒状夹套内底部,出水管的进水口位于筒状夹套内顶部。本实用新型通过增加直筒部的厚度形成环形带状结构的上沿,使得进水管、出水管能够直接与直筒部上沿相连接,优化了水管的连接位置,从而保证筒状夹套上部分水流处于较快的流速状态,加强了筒状夹套上部对晶棒的冷却效果,能够快速降低晶棒温度,从而提升了晶棒的生长速度。
  • 一种单晶硅生产水冷
  • [实用新型]一种坩埚支撑轴-CN202122341574.3有效
  • 潘军明;陈浩;罗才军;张军;马自成 - 四川永祥光伏科技有限公司
  • 2021-09-27 - 2022-01-28 - F27B14/10
  • 本实用新型提供了一种坩埚支撑轴,属于坩埚技术领域,包括上部轴杆和下部轴杆,所述上部轴杆的底端设有接头结构,所述下部轴杆的顶端设有与所述接头结构相匹配的接口结构,所述接头结构与所述接口结构可拆卸装配连接,从而实现所述上部轴杆与所述下部轴杆的可拆卸装配连接。所述上部轴杆为多个轴杆段组件依次连接形成,所述轴杆段组件为实心轴杆段组件或者具有空心结构的轴杆段组件;所述下部轴杆具有空心结构;所述空心结构的侧壁上设有散热孔。本实用新型通过将支撑轴采用分段式结构设计,使得拆卸更为便捷省力,并且当遇到支撑轴底部固定金属螺杆出现插死或融化现象时,只需破坏下部轴杆即可,上部轴杆还可以继续使用,节约了轴杆的生产成本。
  • 一种坩埚支撑
  • [实用新型]一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉-CN201921802643.2有效
  • 关树军;罗才军;赵智强;张伟新;陈辉 - 北京京运通科技股份有限公司
  • 2019-10-24 - 2020-09-22 - C30B15/14
  • 本实用新型涉及直拉单晶硅技术领域,公开了一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉,该直拉单晶硅用加热器包括圆筒状的主发热体,主发热体的筒体上设置有沿周向交替分布的第一缝隙和第二缝隙,第一缝隙与第二缝隙均沿主发热体的轴心线方向延伸,且第一缝隙的开口朝向与第二缝隙的开口朝向相反,第一缝隙和第二缝隙将主发热体分成多根依次串联的发热条,第一缝隙和第二缝隙的中间区域的宽度小于两端的宽度,以使每根发热条中间区域的宽度大于其两端的宽度。该直拉单晶硅用加热器能降低纵向的温度梯度,进而降低直拉单晶硅中的氧含量,达到减弱直拉单晶硅氧施主效应的目的。
  • 一种单晶硅加热器生长
  • [实用新型]一种锅帮及直拉单晶炉-CN201921821726.6有效
  • 赵智强;张伟新;陈辉;关树军;罗才军 - 北京京运通科技股份有限公司
  • 2019-10-28 - 2020-09-22 - C30B29/06
  • 本实用新型涉及半导体制造设备技术领域,公开一种锅帮及直拉单晶炉,其中的锅帮包括:锅帮本体,锅帮本体包括底盘和围壁,其中,围壁沿底盘的顶部开口边缘延伸设置,底盘和围壁围成用于容纳坩埚的内腔,底盘和围壁连接处形成拐角结构;锅帮还包括内保护层,内保护层至少覆盖拐角结构内侧壁,内保护层用于通过与拐角结构相对的部分托住坩埚。通过在锅帮本体内部设置内保护层,内保护层将锅帮本体受坩埚挤压力最大腐蚀最严重的拐角结构处覆盖,可以最大程度减缓锅帮本体的腐蚀,只需要更换内保护层,而不必更换锅帮整体,降低成本,降低工作量。
  • 一种直拉单晶炉
  • [实用新型]一种新型导流筒-CN201921548327.7有效
  • 罗才军;关树军;罗园;刘要普;李豹 - 乌海市京运通新材料科技有限公司
  • 2019-09-18 - 2020-08-11 - C30B15/00
  • 本实用新型提供了一种新型导流筒,包括自外而内依次设置的外导流筒(1)和水冷套(2),在外导流筒(1)和水冷套(2)之间填充有保温材料;在外导流筒(1)的底部设有L型结构(11),L型结构(11)的短臂端与水冷套(2)的底面配合;水冷套(2)为锥筒形结构,其顶部与单晶炉炉体连接,其底部设有转折平台(21),转折平台(21)的底面与短臂端配合并在短臂端上移动。本实用新型提供的新型导流筒,能够增强对晶棒的冷却效果,提升拉速,还能降低石墨用量,降低成本。
  • 一种新型导流
  • [实用新型]一种新型保温毡-CN201921550139.8有效
  • 罗才军;关树军;刘要普;李豹;罗园 - 乌海市京运通新材料科技有限公司
  • 2019-09-18 - 2020-08-11 - F16L59/02
  • 本实用新型提供了一种新型保温毡,包括自下而上依次设置的第一硬毡(1)、至少一个第二硬毡(2)和硬毡顶盖(3);设在第二硬毡(2)的第二底面(21)下方的第一凸起(24)与第一硬毡(1)的开口端连接或与与其相邻的第二硬毡(2)的开口端连接,设在硬毡顶盖(3)的第五毡面(31)底部的第二凸起(32)与与其相邻的硬毡的开口端连接;在第一毡面(12)与第二毡面(13)之间、第三毡面(22)与第四毡面(23)之间填充有保温材料。本实用新型提供的的新型保温毡具有保温性能好,抗氧化性好,使用寿命长,生产成本低的优点。
  • 一种新型保温
  • [实用新型]一种用于单晶炉的提升装置及单晶炉-CN201921548238.2有效
  • 罗才军;关树军;刘要普;罗园;李豹 - 乌海市京运通新材料科技有限公司
  • 2019-09-18 - 2020-06-16 - C30B15/00
  • 本实用新型公开了一种用于单晶炉的提升装置,包括设在单晶炉内部且位于炉底(4)上方的提升托盘(1),以及穿过提升托盘(1)和炉底(4)的坩埚托杆(2);坩埚托杆(2)从上到下包括第一托杆部(21)和第二托杆部(22),第二托杆部(22)顶部的直径大于所述第一托杆部(21)底部的直径;提升托盘(1)位于下保温筒(3)下方且其直径大于下保温筒(3)的直径;在提升托盘(1)的轴线位置设有第一通孔(11),其直径大于第一托杆部(21)底部的直径且小于第二托杆部(22)顶部的直径。本实用新型还公开了应用该提升装置的单晶炉。本实用新型能够在停炉后快速降低石墨件温度,提高热场冷却效率,减小生产成本,提高产量。
  • 一种用于单晶炉提升装置

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