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[发明专利]用于薄膜表征的测量技术-CN201580045695.8有效
发明人：郝玲;约翰·查尔斯·盖洛普 -专利权人： NPL管理有限公司
申请日： 2015-07-24 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G01N22/00 文献下载
摘要：一种测量装置，包括高电容率介质谐振器(10)，其具有低微波损耗角正切和至少一个第一对称轴(z1)；导电谐振腔(100)，其包含谐振器(10)且几何形状类似于该谐振器(10)，并具有与第一对称轴(z1)重合的第二对称轴(z2)；谐振腔(100)具有与第一对称轴(z1)正交的多个相似端口(104)，每个此类端口(104)都具有微波天线(114)，用于将微波射入谐振腔，从而在谐振器中激励出电场，或者用于从谐振腔接收微波；以及比较电路(200、300、400、500、600、700、800)，其连接至所述多个端口(104)中用于将微波射入谐振腔的第一端口(P1)，同时还连接至所述多个端口(104)中用于接收来自谐振腔的微波的其他端口(P2、P3)；其中该测量装置还包括与谐振腔(100)电接触的导电调谐螺钉(106)，该调谐螺钉至少可部分地位于谐振器中激励出的电场中；以及磁力源(18)，该磁力源(18)用于对引入至谐振器(10)的上表面(12)邻近处的样本施加磁场，该上表面(12)基本平行于或反平行于第一对称轴(z1)；以及其中用于接收来自谐振腔(100)的微波的所述多个端口(104)的其他端口中的一个(P3)与用于将微波射入谐振腔的所述多个端口(104)的第一端口(P1)正交。这样的测量装置可用于在谐振器(10)并未与薄膜或其上形成有薄膜的衬底(20)接触的情况下，测量薄膜(30)的电导率或薄膜电阻以及薄膜的载流子迁移率。
用于薄膜表征测量技术

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