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[发明专利]粒子束形成装置-CN201380051775.5在审
发明人：武田直希;田原雅哉;小泉和裕;平山纪友;竹川畅之;宫川拓真 -专利权人：富士电机株式会社;国立大学法人东京大学
申请日： 2013-10-17 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： G01N15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种能够形成粒子束，并对形成的粒子束的空间分布进行评价且控制的粒子束形成装置。一种粒子束形成装置，其从粒子分散于气体的粒子源形成线状或者圆锥状的粒子束，其具有减压容器(12)、粒子束生成装置(3)及粒子束评价装置，其中，所述减压容器(12)的内部被减压；所述粒子束生成装置(3)的一端配置在减压容器(12)外，另一端配置在减压容器(12)内，获取减压容器(12)外的粒子源(2)，将粒子束导入减压容器(12)内；所述粒子束评价装置对减压容器(12)内的粒子束的空间分布进行评价。优选地，该粒子束评价装置具备光照射装置、散射光检测装置(14)及信号处理装置(15)，其中，所述光照射装置对粒子束照射光；所述散射光检测装置(14)检测向粒子束照射的光与粒子接触而产生的散射光；所述信号处理装置(15)对散射光检测装置(14)输出的与该散射光的强度及/或频率相对应的信号进行记录并处理。
粒子束形成装置

[发明专利]微粒组成分析方法及微粒组成分析装置-CN201080065448.1有效
发明人： 竹川畅之;中村贵之;鲛岛友纪;武居正彦;平山纪友 -专利权人：国立大学法人　东京大学;富士电机株式会社
申请日： 2010-12-06 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：本发明提供能在线定量地分析大气微粒的各化学组成的质量浓度的微粒组成分析方法及微粒组成分析装置。该微粒组成分析方法在使气体试样中的微粒的粒子束聚焦，并将该粒子束照射到捕捉体的狭小的区域而捕捉到所述微粒之后，对所述狭小的区域集中照射能量线来使由所述捕捉体捕捉到的微粒汽化、升华或反应以生成脱离成分，从而来对所述脱离成分进行分析，其中所述捕捉体具有用于将剩余的气相成分去除并捕捉所述粒子束中的微粒的网状结构体。另外，为了进行该微粒组成分析方法还构成微粒组成分析装置(50)，其至少包括：减压室(11a～11c)；微粒的粒子束生成器(1)；具有用于捕捉微粒的网状结构体的捕捉体(7)；能量线供给器(5)；捕捉体保持容器(17)；与所述捕捉体保持容器连接的导管(8)；以及用于分析微粒的脱离成分的分析器(10)。
微粒组成分析方法装置