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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种掩膜版、掩膜版的制作方法及ITO玻璃-CN202310871973.1在审
发明人：伏欣鑫;杨朝晖;童胜昔;牟立昌 -专利权人：江门亿都半导体有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G03F1/80 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜版、掩膜版的制作方法及ITO玻璃，包括：在玻璃基板的涂布面上涂布光刻胶并形成光刻胶层；采用LDI曝光机对涂布后的玻璃基板进行曝光处理；对曝光后的玻璃基板进行显影处理，以在所述玻璃基板上形成图案纹理；对显影后的玻璃基板进行固化烘烤，得到掩膜版；本申请创新地使用LDI曝光机来制作掩膜版，使得该掩膜版的图案纹理清晰，从而在ITO玻璃的制作过程中能够有效挡光，避免如菲林作业时而导致的ITO玻璃的走线边缘不平滑；而且该掩膜版的制作材料为玻璃基板和光刻胶层，实现材料国产化，制作成本低，消除菲林胶片存在的环保风险；同时在掩膜版的玻璃基板表面镀ITO形成具有抗静电功能，镀SiO2具有高附着力耐擦拭和溶剂能力。
一种掩膜版制作方法 ito 玻璃

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