专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]基座及LPCVD炉管-CN201420774773.0有效
  • 程庆峰;沈建飞 - 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
  • 2014-12-10 - 2015-05-20 - C23C16/458
  • 本实用新型提供一种基座,包括支撑板、隔冷子基座和保温子基座。支撑板内设有进液口、出液口及供冷却液循环的空腔结构,在薄膜沉积时在支撑板内通入冷却水使得支撑板保持较低的温度,反应气体SiH4在低于200℃时不会分解,使得多晶硅薄膜不会在支撑板上沉积,又由于保温子基座及隔冷子基座外表面均为碳化硅,即使在其表面形成有多晶硅薄膜沉积,所沉积的多晶硅薄膜与碳化硅具有较强的吸附力,不会轻易剥离,有效地避免了peeling defect的产生;同时,碳化硅保温子基座内加入石棉可以起到很好的保温作用,再配合里面套有石英隔冷子基座的碳化硅隔冷子基座隔离底部冷却水的影响,使得冷却水不会影响LPCVD炉管底部的温控,并且能够带来很好的微粒效果。
  • 基座lpcvd炉管

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