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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]采用MBE刻蚀后外延的常关型氧化镓基器件及制备方法-CN202310862139.6在审
发明人：杨伟锋;田成义;张传伦;张捷 -专利权人：厦门大学
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用MBE刻蚀后外延的常关型氧化镓基器件，包括：衬底；缓冲层，位于衬底上方；本征层，位于缓冲层上方；介质层，位于本征层上方；势垒层，本征层和介质层上表面的中部两端被刻蚀的位置形成第一凹槽，势垒层位于第一凹槽上方；盖帽层，本征层和介质层上表面的左右两侧被刻蚀的位置形成第二凹槽，盖帽层位于第二凹槽上方；钝化层，位于缓冲层、本征层和介质层左右两边缘被刻蚀的位置以及介质层和势垒层上方；栅电极及场板，分别位于中间的介质层以及钝化层上方；源电极，位于左侧的盖帽层上方；和漏电极，位于右侧的盖帽层上方。本发明公开了一种采用MBE刻蚀后外延的常关型氧化镓基器件的制备方法，提高器件性能和稳定性。
采用 mbe 刻蚀外延常关型氧化器件制备方法

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共 1 条

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