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[发明专利]测定装置-CN201610195695.2有效
发明人： 田中和规;鹤野真一郎 -专利权人：新东超精密有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种测定装置，能够容易地对测定对象物的背面的形状进行测定。测定装置具备：载置台部(6)，载置平板状的测定对象物；显微镜(8)，具有物镜(8b)及拍摄部(8c)；及角隅棱镜(12)，配置于所述载置台部的与所述测定对象物的背面侧的测定位置相对应的位置，所述拍摄部经由所述角隅棱镜以及所述物镜拍摄所述测定对象物的背面侧的测定位置的像。
测定装置

[发明专利]二维坐标测量仪-CN200510079177.6有效
发明人： 田中和规 -专利权人：株式会社扫佳
申请日： 2005-06-28 - 公布日： 2006-04-19 - 主分类号： G01B11/03 文献下载
摘要：本发明提供一种二维坐标测量仪。其以式样不同的多个被测定物为拍摄对象，测定各被测定物上的测定对象的尺寸。当以中型光罩(28a)为测定对象时，将中型光罩配置在测量仪本体(12)上部的测定台(24)上，使Y轴移动台(46)沿Y轴框体(26)移动，使测量头(48)沿Y轴移动台、移动，用摄像单元(56、58、60)中的任一个拍摄中型光罩上的图形；当以大型光罩(28b)为测定对象时，将大型光罩配置在框体(38)和装载件(40)上，使Y轴移动台、沿Y轴框体、移动，同时使测量头、沿Y轴移动台、移动，用向上的摄像单元(62)拍摄大型光罩(28b)上的图形，用PC(50)处理各拍摄结果，将处理结果显示在显示装置(52)的画面中。
二维坐标测量仪