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[发明专利]一种硅片加热装置及方法-CN202111519574.6有效
发明人：赵继财;林健;李鹏;王建波;李绍鹏;焦龙生;肖政 -专利权人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种硅片加热装置及方法，属于太阳能电池技术领域。包括：壳体，壳体形成密封腔，密封腔用于放置载体，载体装载有硅片；气流组件，气流组件向密封腔内通入气体，气流组件设置于密封腔的内壁上；加热组件，加热组件在密封腔内释放热量，加热组件与气流组件连接。将载体送入密封腔，降低所述密封腔内的压强，通过加热组件对密封腔加热，并通过气流组件向密封腔内排入气体，提高密封腔内的热量传导。在本申请实施例中，当装载有硅片的载体进入密封腔后，气流组件和加热组件能够同时工作，增强了密封腔内的热传导效率，具有使得对流在载体周围的热量更均匀、加热效率更高的有益效果。
一种硅片加热装置方法

[发明专利]一种沉积反应腔的排气系统及薄膜沉积设备-CN202111531263.1在审
发明人：林健;赵继财;李绍鹏;肖政;焦龙生;李鹏;王建波 -专利权人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请公开一种沉积反应腔的排气系统及薄膜沉积设备，涉及薄膜沉积技术领域，该排气系统具有维护周期长，堵塞风险低的有益效果。原子层沉积反应腔的排气系统包括第一排气管、除尘装置和真空泵，第一排气管的两端分别与反应腔和除尘装置连通，第一排气管的管壁开设有外介质进口，外介质进口用于通入反应介质，反应介质能够与第一排气管中的气态反应物反应而产生粉尘状的物质；真空泵与除尘装置的气体出口连通。
一种沉积反应排气系统薄膜设备