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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]多晶硅制备用碳部件的净化方法-CN200910174675.7有效
发明人：生川满敏;渡部谦一 -专利权人：三菱麻铁里亚尔株式会社
申请日： 2009-09-14 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： C01B31/00 文献下载
摘要：本发明涉及多晶硅制备用碳部件的净化方法，将用于多晶硅制备的碳部件置于处理炉内部，将处理炉内部用惰性气体等置换，然后多次重复下述处理后使处理炉内部冷却：干燥处理，其中，将处理炉内部升温至干燥温度，使惰性气体等流通，干燥碳部件；氯气流通处理(步骤2)，其中，在干燥处理后，将处理炉内部升温至高于干燥温度的净化温度，同时使氯气在处理炉内部流通；减压处理(步骤3)，其中，在氯气流通处理后，使处理炉内部减压；减压保持处理(步骤4)，其中，将处理炉内部保持于由减压处理产生的减压状态；和氯气加压处理(步骤5)，其中，向减压保持处理后的处理炉内部导入氯气，使处理炉内部呈加压状态。
多晶制备部件净化方法

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