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[实用新型]一种铜箔控干机构-CN202320831584.1有效
发明人：陈建;谢益民;松田光也;陈贤生 -专利权人：洪田科技有限公司;洪田科技（江苏）有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： F26B13/00 文献下载
摘要：一种铜箔控干机构，吹风机构(1)后方的主支架(4)上部依次安装吸气装置(2)和烘箱装置(3)；两个风管(1‑2)相互平行的固定安装在风管支架(1‑1)上，两个风管(1‑2)的侧边矩形孔相互对准，两个风管(1‑2)均通过管路连接风机；两个吸气盒(2‑2)开口上下对置安装在吸气支架(2‑1)上，两个吸气盒(2‑2)均配备吸气管路(2‑3)；烘箱壳体(3‑1)内部表面铺设保温隔热层，并在内侧上下部通过支架安装空气循环加热机构，烘箱壳体(3‑1)前后表面均开设铜箔通过孔(3‑2)，本实用新型可以快速有效的控干铜箔表面的液体，可以有效地防止铜箔表面形成氧化铜层，确保铜箔质量不被液体影响。
一种铜箔机构

[发明专利]一种磁控溅射双面镀膜装置及方法-CN202310333795.7在审
发明人：唐睿;贲素东;松田光也;陈贤生;苏曹兵 -专利权人：洪田科技有限公司;洪田科技（江苏）有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜加工技术领域，提供了一种磁控溅射双面镀膜装置及方法，该磁控溅射双面镀膜装置，包括放卷室、前处理室、溅射室以及收卷室；溅射室包括溅射导向辊、阴极靶、第一镀膜辊以及第二镀膜辊；第一镀膜辊与第二镀膜辊的外侧周向方向上均设置有若干阴极靶；溅射导向辊沿基材的输送方向设置在溅射室内，适于引导基材先通过第一镀膜辊以完成正面镀膜、以及后通过第二镀膜辊以完成反面镀膜。本发明提供的磁控溅射双面镀膜装置，相比于现有技术而言，无需对完成镀膜后的基材进行二次装卸，避免对镀好的薄膜造成损坏，有利于提高产品的质量；而且，镀膜时无需开腔及二次抽真空，能够简化工艺，节约时间，有利于提高生产效率，降低生产成本。
一种磁控溅射双面镀膜装置方法

[发明专利]一种磁控溅射蒸发双面镀膜装置及方法-CN202310351044.8在审
发明人：贲素东;唐睿;松田光也;陈贤生;张雨 -专利权人：洪田科技有限公司;洪田科技（江苏）有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜加工技术领域，提供了本发明提供磁控溅射蒸发双面镀膜装置及方法，该磁控溅射蒸发双面镀膜装置，至少包括：镀膜室，沿加工基材的输送方向至少串联设置两个镀膜室，每个镀膜室内均设置有镀膜导向辊、第一溅射镀膜组件、第二溅射镀膜组件以及蒸发镀膜组件；基材在镀膜导向辊的引导下先后通过第一溅射镀膜组件、蒸发镀膜组件以及第二溅射镀膜组件，以在基材的同一面先后完成第一次溅射镀膜、蒸发镀膜以及第二次溅射镀膜。本发明提供的磁控溅射蒸发双面镀膜装置，在一个镀膜室内实现基材单面的两道磁控溅射成膜工艺以及在两者之间增加一道蒸发镀膜成膜工艺，相较于现有技术而言，无需进行水平电镀，工序更简单、环保。
一种磁控溅射蒸发双面镀膜装置方法