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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]等离子清洗装置-CN03157010.0无效
发明人：野田吉昭;肥山道行;泷本胜英 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2003-09-09 - 公布日： 2005-03-16 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子清洗装置，其中将被处理物(22)设置在相对地线电极(14)的在活性电极(12)相反侧的位置上。被处理物(22)与容器的底部被电绝缘地支撑，在被处理物(22)上连接电气导通路径(24)。电气导通路径(24)通过电阻器(26)和副电源(28)接地。将副电源(28)的被处理物(22)的电位设定为规定电位，比如负电位，向容器(2)内导入处理气体，在容器(2)内保持100Pa程度的真空度，从电源(16)向活性电极(12)施加电压，由此在活性电极(12)和地线电极(14)之间产生放电，发生等离子，通过使该等离子作用于被处理物(22)，对被处理物(22)的表面进行清洗与活性化。
等离子清洗装置

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