专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]微波等离子吹管-CN95118293.5无效
  • 川濑透;长野义信;木村忠司;吉田善一;水口信一 - 松下电器产业株式会社
  • 1995-10-25 - 2000-10-11 - H05H1/30
  • 微波等离子吹管,包括一具有抽真空装置的真空容器;一同轴波导,其包括一内导体、一外导体,该波导的第一端部分与微波供给装置连接,第二端部分与该空容器连接,由此将微波沿同轴波导的波导轴导入到真空容器中;一气体供给装置,用于沿多个喷射轴将气体喷入真空容器,在该微波等离子吹管中,至少多个喷射轴中的两个在第二端部分中不与波导轴相交,且不在垂直于波导轴的平面中,在第二端部分附近,内导体与外导体直径之比沿波导轴自第一端部分向第二端部分减小。
  • 微波等离子吹管
  • [发明专利]激励原子束源-CN94103083.0无效
  • 吉田善一;水口信一 - 松下电器产业株式会社
  • 1994-03-30 - 1995-02-22 - H01L21/22
  • 激励原子束源,通过设置半同轴空腔谐振器的放电室,沿该轴向加磁场的构件,被激气体导入口和沿径向引出激励原子的导出口。能沿轴向加磁场,封闭原子与离子,从而能沿径向优先引出呈电气中性的激励原子。本发明还通过在喷嘴与小孔之间产生形成磁路的微波等离子体,并只让等离子体中的高速中性及激励原子通过小孔,能获得超音速的激励原子束,用于向半导体的掺杂。
  • 激励原子

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