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[实用新型]一种液位可检测的原子沉积设备源瓶-CN202223434435.6有效
发明人：孙世娜;陈焰;明帅强;刘振强;林永奔;夏洋;毛娃 -专利权人：嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本申请涉及一种液位可检测的原子沉积设备源瓶，包括：圆柱瓶体，所述圆柱瓶体的左侧插接有长进流管，且圆柱瓶体的上端右侧固定设有短出流管，并且圆柱瓶体的右端上下侧分别固定设有粗低压管和细高压管；差压传送连接管，所述差压传送连接管固定插接有连通管，所述连通管的左端上下侧分别固定连接有法兰Ⅲ和法兰Ⅳ，所述法兰Ⅲ和法兰Ⅳ分别固定密封连接粗低压管和细高压管。本申请实施例提供的该设备，整体结构液位检测方法简单，检测装置外接，可重复使用，外接透明刻度方便查看源瓶内液位，不影响源瓶反应物挥发过程，不影响反应物容量，对源瓶瓶身改动较小，且不影响其密封性，制作成本低，有利于推广使用。
一种液位可检测原子沉积设备

[发明专利]原子沉积设备的反应物定量控制方法-CN202211695518.2在审
发明人：孙世娜;陈焰;明帅强;刘振强;毛娃;林永奔;夏洋 -专利权人：嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本申请公开了一种原子沉积设备的反应物定量控制方法、装置、介质以及电子设备。该方法包括:设定各个反应物对应的差压累和阈值，并在未通入反应物时，通入设定流量的载气，获取进气管道处的压强作为第一初始压强；针对各个反应物，通过依次开启各个反应物对应的阀门，获取当前进气管道的压强，以根据所述第一初始压强和各个反应物对应的进气管道的压强，计算当前反应物对应的差压累和值；如果当前反应物对应的差压累和值等于当前反应物设定的差压累和阈值，则关闭当前反应物对应的阀门，以实现反应物的定量控制。本申请提供的技术方案能够提高反应物定量控制的准确性，以及减少反应物的用量，从而提高成膜一致性。
原子沉积设备反应物定量控制方法

[发明专利]一种原子层沉积设备的远程控制系统及方法-CN202110821570.7在审
发明人：毛娃;陈焰;夏洋;冯家恒;明帅强;刘振强 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本申请公开一种原子层沉积设备的远程控制系统及方法，系统包括：原子层沉积设备、远程控制器和服务器；原子层沉积设备包括无线通信模块、处理器模块和设备主体，所述处理器模块与所述无线通信模块连接；所述设备主体包括温控模块、气体流量控制模块和原子层沉积腔室，所述设备主体与所述处理器模块连接。可以避免操作人员频繁往返实验室或者工厂的厂房，能够实现对于原子层沉积设备的远程控制。
一种原子沉积设备远程控制系统方法

[发明专利]电子元件散热片-CN201510509758.2在审
发明人：毛娃 -专利权人：镇江正弦控制技术有限公司
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： G06F1/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种电子元件散热片，包括散热片主体（1）、卡块（2）、开孔（3）、圆孔(4)，其特征在于，所述散热片主体（1）上连接有卡块（2），所述散热片主体（1）上还开设有开孔（3）与圆孔(4)，所述圆孔(4)位于开孔（3）上端。本发明的电子元件散热片具有结构简单、散热效果好、安装方便的优点。
电子元件散热片

[发明专利]电力半导体器件-CN201510509924.9在审
发明人：毛娃 -专利权人：镇江正弦控制技术有限公司
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： H01L23/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电力半导体器件，包括散热底板（1）、绝缘片（2）、电极（3）、芯片（4），其特征在于：所述散热底板（1）上端连接有绝缘片（2），所述绝缘片（2）上端连接有电极（3），所述电极（3）上端连接有芯片（4）。本发明具有结构简单，性能好，可靠性高，安装方便等优点。
电力半导体器件

[发明专利]复合电管-CN201510509925.3在审
发明人：毛娃 -专利权人：镇江正弦控制技术有限公司
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： F16L58/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合电管，采用聚丙烯与三元乙丙橡胶制成，包括外侧电管（1）、内侧电管（2）、酚醛树脂泡沫层（3）和管口（4），其特征在于：所述外侧电管（1）内表面上与内侧电管（2）外表面上设置有酚醛树脂泡沫层（3），所述外侧电管（1）、内侧电管（2）、酚醛树脂泡沫层（3）相互连接制成一体且形成管口（4）结构。本发明具有强度高、抗氧化、防腐蚀、美观、寿命长等优点。
复合

[发明专利]光线示波器-CN201510509756.3在审
发明人：毛娃 -专利权人：镇江正弦控制技术有限公司
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2015-11-04 - 主分类号： G01R13/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种光线示波器，包括透镜（2）、光栏（3）、壳体（4）、磁极（9）、圆柱透镜（11）、感光纸带（12），其特征在于：所述透镜（2）旁边设置有光栏（3），所述壳体（4）内设置有张丝（5），所述张丝（5）上连接有支承（6）、反射镜（7）、线圈（8）、弹簧（10），所述壳体（4）两侧设置有磁极（9），所述反射镜（7）旁边对应设置有光栏（3）与圆柱透镜（11），所述圆柱透镜（11）旁边设置有感光纸带（12）。本发明具有较高的电流灵敏度、较低的记录误差和仪器轻、小等优点。
光线示波器

[发明专利]一种自动化控制电子元器件-CN201410771600.8在审
发明人：毛娃 -专利权人：镇江正弦控制技术有限公司
申请日： 2014-12-16 - 公布日： 2015-05-20 - 主分类号： G05B19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动化控制电子元器件，所述仪表安装前应按设计位号核对其型号、规格及材质，检查仪表外观应完好无损，附件齐全，所述仪表安装前应进行单体试验和校准，所述仪表安装时，其位置不得影响工艺操作，仪表中心距地面高度宜为1.2~1.5米，所述安装在工艺管道的仪表或测量元件，宜在工艺管道吹扫后，压力试验前安装，仪表标定流向应与被测介质流向一致，所述仪表设备上的接线盒、进线孔的引入口不应向上，所述仪表设备标志牌上的文字及端子编号等应书写或打印正确、清楚；本发明的仪表精确度高，抗干扰力好，提升了仪表性能。
一种自动化控制电子元器件