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[发明专利]一种GT35球碗零件内表面沉积TiN厚膜的工艺方法-CN201910571574.7在审
发明人： 毕新儒;赵显伟;李文卓;马培培 -专利权人：陕西航天时代导航设备有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种GT35球碗零件内表面沉积TiN厚膜的工艺方法，将零件置于真空炉内加抽真空并加热，之后向真空炉内通入氩气对球碗零件内表面进行氩离子刻蚀，氩离子刻蚀完成后启动靶材对刻蚀后的球碗零件内表面镀打底层，打底层将球碗零件内表面全覆盖后通入饱和量的氮气并开启钛靶沉积氮化钛层，该氮化钛层由多次沉积完成，每次沉积前对上一次沉积的氮化钛层实施氩离子刻蚀处理，每次氮化钛层沉积厚度不超过5μm，每次氩离子刻蚀厚度不超过1μm，直到氮化钛层达到预定厚度即可冷却出炉。
一种 gt35 零件表面沉积 tin 工艺方法

[发明专利]一种GT35球碗零件内表面TiN厚膜制备方法-CN201910571586.X在审
发明人：赵显伟;毕新儒 -专利权人：陕西航天时代导航设备有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种GT35球碗零件内表面TiN厚膜制备方法，球碗零件置于真空炉内抽真空并加热，通入氩气进行氩离子刻蚀，氩离子刻蚀完成后开启靶材对零件表面镀打底层，打底层将零件表面全覆盖后对零件表面沉积氮化钛过渡层，过渡层包括氮化钛第一过渡层和氮化钛第二过渡层，沉积氮化钛第一过渡层的弧电电流为60A弧电电压为180V，沉积时长为30分钟；在该氮化钛第一过渡层基础上沉积氮化钛层第二过渡层，沉积该氮化钛第二过渡层的弧电电流为120A弧电电压200V，沉积时长为20分钟，氮化钛第一过渡层和氮化钛第二过渡层交替沉积多次直至总厚度大于等于10μm形成过渡层，在过渡层上沉积氮化钛功能层，功能层沉积完成后即可冷却出炉。
一种 gt35 零件表面 tin 制备方法

[发明专利]一种基于GT35球碗零件内表面制备TiN厚膜的方法-CN201910571587.4在审
发明人：赵显伟;毕新儒 -专利权人：陕西航天时代导航设备有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于GT35球碗零件内表面制备TiN厚膜的方法，将零件置于真空炉内抽真空并加热，随后向真空炉内通入氩气对球碗内表面进行氩离子刻蚀，完成氩离子刻蚀后开启钛靶在刻蚀后的球碗内表面镀打底层，打底层将球碗零件内表面全覆盖后钛靶继续工作，并开始通入非饱和量的氮气沉积过渡层，氮气通入量随沉积时间阶梯增加，形成钛和氮化钛共存的过渡层，沉积时间随氮气通入量的增加而延长，当过渡层厚度大于等于10μm后开始持续通入饱和量的氮气沉积形成氮化钛层，该氮化钛层大于等于6μm后即可冷却出炉。
一种基于 gt35 零件表面制备 tin 方法

[发明专利]GT35精密装配零件沉积TiN膜层工艺方法-CN201711434670.4有效
发明人：赵显伟;毕新儒;张剑;陈雄刚;陈驰;刘栓 -专利权人：陕西航天时代导航设备有限公司
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： C21D1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种GT35精密装配零件沉积TiN膜层工艺方法,包括以下步骤：a、对GT35材料的粗加工零件进行淬火；b、对淬火后的GT35零件粗加工件进行450±10℃，保温3～4小时的回火处理，之后进行稳定处理，充分消除零件机械加工过程中的应力；c、通过磨、研、抛对GT35零件粗加工件进行继续机械加工，之后进行稳定处理；d、对GT35零件机械精加工，使GT35零件的尺寸满足装配尺寸要求；e、为GT35零件镀TiN膜，镀膜时炉腔温度为200±10℃；f、精研TiN膜。
精密装配稳定处理淬火沉积零件机械加工机械精加工尺寸要求回火处理机械加工镀TiN膜镀膜精研炉腔保温装配

[发明专利]一种厚度为21.5μm的TiN膜制备方法-CN201510298503.6在审
发明人：赵显伟;毕新儒 -专利权人：陕西航天导航设备有限公司
申请日： 2015-06-03 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种厚度为21.5μm的TiN膜制备方法，利用真空电弧离子镀技术制备了厚度为21.5μm的TiN膜层，通过对电弧离子镀技术中工艺参数的选择性调整、工艺方法的合理设计，在粉末冶金材料GT35上通过克服材料变形、膜层内应力集中、膜层在锐边夹角容易崩落、长时间沉积厚膜等的种种难题，解决了TiN硬质膜厚度在8μm以上无法制备的现状，得到了膜层厚度、硬度、结合力等性能均优良的TiN厚膜。本发明能为航天技术领域中半球动压马达零件-球碗需要镀TiN厚膜的设计要求提供生产技术支持。对航天技术的发展有非常好的实用价值和市场应用前景。
一种厚度 21.5 tin 制备方法

[发明专利]氮化钛膜制备方法-CN201510298327.6在审
发明人： 毕新儒;赵显伟;李文卓;马培培 -专利权人：陕西航天导航设备有限公司
申请日： 2015-06-03 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮化钛膜制备方法。本发明提供了氮化钛膜制备方法包括双钛靶沉积与刻蚀交替镀膜和双钛靶间断沉积与热处理交替镀膜的两种氮化钛膜制备方法。通过两种不同方式制备钛膜，改善了钛膜层的性能，拓展了其应用范围，同时钛膜层沉积过程中的不同处理方法可为物理气相沉积和化学气相沉积技术提供更多的膜层制备参考方法，它能为钛膜层的制备技术的开发提供技术支持，具有非常好的实用价值和市场拓展前景。
氮化制备方法

[发明专利]磁滞合金应力热处理方法及专用工装-CN200810017514.2有效
发明人： 毕新儒;李文卓;肖建鹏 -专利权人：中国航天时代电子公司七一○七厂
申请日： 2008-01-21 - 公布日： 2008-07-30 - 主分类号： C21D1/00 文献下载
摘要：磁滞合金应力热处理方法，其按照如下步骤实现：(1)将待处理零件逐片套入一芯轴上并加上套筒包围零件，然后在轴向给零件施力紧固定位；(2)零件连同工装随炉一同热处理，随炉升温至600～660℃，保温30～90min，快速冷却室温。本发明在磁滞合金热处理回火过程中利用工装的热膨胀系数大于零件的膨胀系数的特性，通过工装对磁滞合金零件施加周向拉应力，形成对实际有利的磁各向异性，材料热处理后磁性能得到大幅提高。经该方法处理后的零件磁性能，在Hm＝5173A/m时，Bm可达到1.65～1.75T，Br可达到1.55～1.65T，Hc可达到4000～4300A/m。
合金应力热处理方法专用工装