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[发明专利]曝光系统、曝光方法及显示用面板基板的制造方法-CN201811324621.X有效
发明人：松本房重;高桥聪;樋川博志;松山胜章;渡边启 -专利权人： 株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种不大幅增加设备或步骤，于单片基板将尺寸相异的图样以高位置精度曝光的曝光系统，包含于经涂布于基板的光阻，以指定的间隔形成多个基板标记的标记装置、及多个曝光装置。多个曝光装置分别自图像取得装置所取得的屏蔽标记及基板标记的图像，检测出屏蔽标记与基板标记的偏移量，使用激光测量装置，检测平台位置，对应检测出的该偏移量，进行屏蔽标记与基板标记的位置校准，进行屏蔽与基板的相对位置定位，基于激光测量装置的检测结果，控制图样于基板曝光的位置，于基板进行图样的曝光，将尺寸相异的图样于基板曝光。
曝光系统方法显示面板制造

[发明专利]隔板用粉体、隔板用浆料、锂离子电池及其制造方法-CN201780035343.3在审
发明人：森恭一;藤井武;高原洋一 -专利权人： 株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2017-05-30 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01M2/16 文献下载
摘要：使锂离子电池所使用的隔板的特性提高。使负极用浆料S(Nb)以及隔板用浆料S(SPn)干燥，在金属箔Na上形成负极片NS，该负极片NS具有由负极用浆料S(Nb)形成的负极层Nb、以及在负极层Nb上通过隔板用浆料S(SPn)形成的隔板SPn。上述隔板用浆料S(SPn)具有第一无机氧化物颗粒、形状与第一无机氧化物颗粒不同的第二无机氧化物颗粒、使第一无机氧化物颗粒以及第二无机氧化物颗粒的混合物中的颗粒粘结的粘结剂、以及溶解粘结剂的溶剂。例如，第一无机氧化物颗粒为球状二氧化硅，第二无机氧化物颗粒为不定形二氧化硅。相对于球状二氧化硅和不定形二氧化硅的混合重量，不定形二氧化硅的比例为25重量％以上75重量％以下。
无机氧化物颗粒隔板浆料二氧化硅不定形球状二氧化硅锂离子电池负极负极层负极片粘结剂颗粒粘结混合物金属箔粉体溶剂溶解制造

[发明专利]二次电池及其制造方法-CN201780030786.3在审
发明人：高原洋一;西龟正志;森恭一;藤井武;松冈正兴 -专利权人： 株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01M10/04 文献下载
摘要：本发明提供二次电池及其制造方法，所述二次电池是在电极箔上隔着电极层来形成隔板层或电解质层的二次电池，防止在电极的切断部、与由负极和正极的层叠体引出的电极箔之间的短路发生。作为其方法，在具有将负极和正极交替地多个层叠而成的电极组的二次电池中，通过利用绝缘层来覆盖构成从正极引出的电极箔的附近的负极的端部的电极层和电极箔从而进行保护。
二次电池电极箔正极负极电极层绝缘层电解质层层叠体电极组隔板层电极短路制造覆盖

[发明专利]架空线测定装置及架空线测定方法-CN201480039911.3有效
发明人：渡边正久 -专利权人： 株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2014-09-01 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： G01B11/245 文献下载
摘要：能够基于行驶的车辆简单地测定架空线的磨损部的形状。将狭缝状的激光束L1、L2从车辆9的车顶上相对于车辆前进方向大致垂直地照射到架空线1。通过照射激光束，在架空线1的包括侧面在内的下侧生成光切割图像。通过利用照相机等从斜下方接收该光切割图像，获取表示架空线1的包括侧面在内的下侧的形状的图像，即架空线1的光切割图像的轮廓d0。将这样的光投射部和光接收部设置两套于沿架空线1的偏移左右方向分离的位置，并分别测定激光束L1、L2照射到的部分的形状，通过对其进行图像处理，生成表示架空线1的滑动面和左右侧面的剖面形状的数据。基于生成的表示架空线1的滑动面和左右侧面的剖面形状的数据，测定架空线1的侧面的剩余量和磨损量。
架空测定装置方法

[发明专利]隔离件用粉体及隔离件用浆料和锂离子电池及其制造方法-CN201680077217.X在审
发明人：高原洋一;西龟正志;森恭一;藤井武;松冈正兴 -专利权人： 株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H01M2/16 文献下载
摘要：一种在形成介于锂离子电池的正极层和负极层之间的绝缘性的隔离件时使用的隔离件用浆料(124)。隔离件用浆料(124)具有：无机氧化物粒子(例如二氧化硅的粒子)(120)；使无机氧化物粒子(120)在浆料中分散的分散剂粒子(例如聚乙烯吡咯烷酮的粒子)(127)；使无机氧化物粒子(120)粘结的粘结剂(128)；以及溶解粘结剂(128)的溶剂(129)。
隔离件浆料无机氧化物粒子粒子锂离子电池粘结剂聚乙烯吡咯烷酮二氧化硅分散剂负极层绝缘性正极层溶剂粉体粘结溶解制造

[发明专利]锂离子电池及其制造方法以及锂离子电池的制造装置-CN201580058044.2在审
发明人：高原洋一;窪田千惠美;西龟正志;二乃宫荣作;松冈正兴;藤井武;森恭一 -专利权人： 株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2015-10-07 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： H01M10/052 文献下载
摘要：本发明提供一种锂离子电池，其具备具有关闭功能和耐热功能的隔膜。为了解决上述课题，本发明的锂离子电池中，经过一次涂覆工序在形成于集电箔表面上的负极层上形成绝缘层，该绝缘层为以二氧化硅粒子层为下层、以聚丙烯粒子层为上层的2层结构，所述涂覆工序中使用含有比重相互不同的2种微粒的绝缘材料。同样地，经过一次涂覆工序在形成于集电箔表面上的正极层上形成绝缘层，所述绝缘层为以二氧化硅粒子层为下层、以聚丙烯粒子层为上层的2层结构，所述涂覆工序中使用含有比重相互不同的2种微粒的绝缘材料。二氧化硅粒子层具有耐热功能，聚丙烯粒子层具有关闭功能。
锂离子电池及其制造方法以及装置

[发明专利]热辅助磁头元件的检查装置及其方法-CN201610181780.3在审
发明人：张开锋;广濑丈师;渡边正浩;杉山敏教;飞田明 -专利权人： 株式会社日立高新技术高精细系统
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： G01Q60/06 文献下载
摘要：本发明提供一种热辅助磁头元件的检查装置及其方法。在热辅助磁头的检查中，即使悬臂的测定探针的直径对于每个悬臂具有偏差，也能够保证进行高精度的检查。热辅助磁头元件的检查装置具备：悬臂；位移检测系统，其检测悬臂的位移；光检测器，其检测来自悬臂的散射光；信号处理部，其接收来自位移检测部的输出信号和来自光检测器的输出信号对信号进行处理；以及控制部，其对整体进行控制，还具备：载置部，其载置近场光产生样本；激光源，其发射激光；激光照射光学系统，其将激光照射到近场光产生样本而产生近场光；以及工作台部，其载置载置部和激光照射光学系统来使近场光产生样本在悬臂正下方与从悬臂离开的位置之间进行移动。
辅助磁头元件检查装置及其方法

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