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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]单晶PERC扩散三步通源工艺-CN202310795692.2在审
发明人：张洪栋;杨屹帆;魏飞;蒋恒博 -专利权人：中润新能源（徐州）有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了单晶PERC扩散三步通源工艺，包括下述步骤，S1：进舟：将多个晶硅电池装载在石墨舟运输至管式扩散炉主体内，并操作管式扩散炉主体内进行预热；S2：第一步通源，设置流量，向管式扩散炉主体内内配备500～1600sccm氧气，设置管式扩散炉主体内内的温度范围为600～800的温度，同时吹扫氮气，进行沉积；S3：第二步通源，设置流量，向管式扩散炉主体内内配备700～1200sccm氧气，设置管式扩散炉主体内内的温度范围为600～900的温度，同时吹扫氮气，进行沉积；S4：第三步通源，设置流量，向管式扩散炉主体内内配备500～1000sccm氧气。本发明实现实现通源量同时分梯度不同流量通源，以用来尽可能多的磷原子以替位式方式扩散到硅片内。且形成不同的梯度，减少填隙式扩散方式的影响。
perc 扩散三步通源工艺

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