“杨吉克”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种改善去胶均一性的装置-CN202321159668.1有效
发明人： 杨吉克 -专利权人：上海稷迪半导体设备有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改善去胶均一性的装置，包括等离子去胶设备工艺腔体和等离子体发生装置，所述等离子去胶设备工艺腔体和等离子体发生装置之间设有石英桶底座，所述石英桶底座呈“喇叭口”形状。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型的石英桶底座由原来的阶梯状分布，改变成喇叭状结构，能够有效地减少等离子体复合和聚集，优化等离子体分布，从而优化去胶速率均一性。
一种改善均一装置

[实用新型]一种改善工艺稳定的离子筛网装置-CN202321159326.X有效
发明人： 杨吉克 -专利权人：上海稷迪半导体设备有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改善工艺稳定的离子筛网装置，包括离子筛网，所述离子筛网外部设有一加热块，所述加热块连接温度控制器，温度控制器连接有温度传感器，温度传感器设置在加热块上。本实用新型与现有技术相比的优点是：可有效的控制离子筛网表面的温度，避免了离子筛网表面温度波动对工艺稳定性的影响，提高了生产工艺的稳定性，提升了生产效率。
一种改善工艺稳定离子筛网装置