“杜武明”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体-CN202020682446.8有效
发明人：王俊朝;寇宗和;杜武明 -专利权人：深圳丰盛装备股份有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： F27D1/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，包括炉丝骨架、内保温层、风冷散热系统、外保温层以及不锈钢外壳，所述内保温层套接在炉丝骨架外侧，所述风冷散热系统套接在内保温层的外侧，所述外保温层套接在风冷散热系统外侧，所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧，所述风冷散热系统用于炉体的散热。在炉子的内保温层外部设置了风冷散热系统，通过分成三段的风冷循环管道在电炉丝的外侧通过循环通风对使用过的电炉丝进行加速冷却，来减少炉体在使用过后的冷却时间，增加了炉体循环使用的频率，进而增加了设备整体的工作效率。
一种扩散 cvd 设备强制风冷

[实用新型]一种向管式PECVD的TMA介质输送系统-CN201920718957.8有效
发明人：王俊朝;李军阳;李学文;杜武明 -专利权人：深圳丰盛装备股份有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，包括供给系统和蒸发系统；供给系统包括TMA钢瓶、第一气体管道以及第一TMA液体管道，第一气体管道与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接；蒸发系统包括TMA蒸发瓶、第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道，第二TMA液体管道设置有两个端口，一个端口与第一TMA液体管道连接，另一个端口连接蒸发瓶入口，TMA气体管道也设置有两个端口，TMA气体管道一端口连接着蒸发瓶出口，TMA气体管道另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计，第二气体管道上还连接有惰性气体质量流量计；本实用新型的有益效果是：该系统改善生产工艺，达到提高转换效率的目的。
一种 pecvd tma 介质输送系统

[实用新型]一种TMA介质的蒸发系统-CN201920717405.5有效
发明人：王俊朝;李军阳;刘兵吉;杜武明 -专利权人：深圳丰盛装备股份有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种TMA介质的蒸发系统，包括TMA蒸发瓶和控制输送管路，所述TMA蒸发瓶设置有一蒸发瓶入口和一蒸发瓶出口，在蒸发瓶入口和出口均设置有气动阀；所述控制输送管路包括第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道；所述的第二TMA液体管道连接着蒸发瓶入口；所述的TMA气体管道设置有两个端口，一端口连接着蒸发瓶出口，另一端口连接有反应管，在蒸发瓶出口和反应管之间的管道上还串联有TMA气体质量流量计、第七气动阀以及第三手动阀；所述的第二气体管道连接在第七气动阀与第三手动阀之间的管道上，第二气体管道上还连接有惰性气体质量流量计；本实用新型的有益效果是：通过增加独立的蒸发系统，改善生产工艺，达到了提高转换效率的目的。
一种 tma 介质蒸发系统

[实用新型]一种PECVD辅助加热装置-CN201920037274.6有效
发明人：王俊朝;李军阳;刘兵吉;杜武明 -专利权人：深圳丰盛装备股份有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PECVD辅助加热装置，涉及太阳能电池设备技术领域，包括主加热炉体、前端盖组件、后端盖组件、石墨舟以及辅助加热装置；所述的主加热炉体呈圆筒状，所述的前端盖组件和后端盖组件分别盖在主加热炉体的两端开口处，在主加热炉体内部形成反应腔室，所述的石墨舟即位于反应腔室内；所述的辅助加热装置包括多个加热套管，且多个加热套管均伸入反应腔室内，并位于石墨舟的一侧，加热套管的一端从前端盖组件处或后端盖组件处伸出；本实用新型的有益效果是：该PECVD辅助加热装置在升温阶段辅助主加热炉体加热，从而缩短加热时间和工艺时间，提高生产效率。
主加热炉辅助加热装置后端盖组件前端盖组件加热套管石墨舟本实用新型反应腔加热太阳能电池设备室内反应腔室两端开口生产效率升温阶段体内部圆筒状伸入伸出

[实用新型]用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置-CN201420377882.9有效
发明人：王俊朝;李军阳;刘兵吉;杜武明 -专利权人：深圳丰盛装备股份有限公司
申请日： 2014-07-09 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池自动化设备技术领域，提供了一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，该装置用于PECVD自动化设备上，包括用于拾取硅片的插片头组件、带动插片头组件沿Z轴旋转的Z轴旋转运动机构、带动Z轴旋转运动机构于竖直方向上下运动的Z轴直线运动机构、带动Z轴直线运动机构沿X轴向旋转的X轴旋转运动机构以及设于X轴旋转运动机构上方且可带动所述X轴旋转运动机构于前、后、左、右移动的XY水平移动机构。本实用新型中，这样，插片头组件在上述各机构带动下快速、精准完成硅片的自动装卸，而且上述各机构结构简单，在功能上可完全替代现有的高成本六轴精密机器人，大大降低了太阳能电池的制作成本，适合全面推广。
用于 pecvd 石墨自动装卸装置