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[发明专利]激光切割方法、装置、计算机设备及存储介质-CN201911150806.8在审
发明人：李健;李忠乾;辛焕寅;陈红;周黎明;张红江;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2021-05-21 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明涉及激光微加工领域，公开了一种激光切割方法、装置、计算机设备及存储介质，其方法包括：通过相位型空间光调制器调制p偏振激光光束的相位；通过预设聚焦光路对调制相位后的p偏振激光光束进行聚焦，生成具有多个同轴焦点的切割光束；使用切割光束对指定厚度的被切割物进行切割，切割光束的所有同轴焦点落入指定厚度内。使用本发明提供的方法对晶圆进行切割时，可以有效降低晶圆在CH2方向的斜裂角度，提高Mini LED晶圆的量产良率。
激光切割方法装置计算机设备存储介质

[发明专利]激光加工方法及装置-CN201911082658.0在审
发明人：徐旭波;辛焕寅;李忠乾;陈红;张红江;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： B23K26/042 文献下载
摘要：本发明涉及激光微加工领域，公开了一种激光加工方法，包括将片状的被加工对象的第一端面贴合在已被固定在硬质框架上的透明粘性膜上；将硬质框架固定在加工平台上，且被加工对象背离第一端面的第二端面与激光光源相对设置；通过激光光源生成的具有至少一个焦点的激光，按预设切割轨迹对被加工对象进行切割，以在被加工对象上沿预设切割轨迹生成若干个切割点；在对被加工对象的切割点进行切割时，激光光源生成的激光的至少一个焦点作用于第二端面上。本发明提供的激光加工方法，通过控制激光焦点作用在被加工对象的第二端面上，使得各被切割点的直线度较好，提高了被加工对象的加工精度。
激光加工方法装置

[实用新型]一种光斑形状调节装置及设备-CN201921348770.X有效
发明人：周黎明;李忠乾;辛焕寅;黄浩;盛存国;张红江;李海峰;陈红;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： B23K28/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种光斑形状调节装置及设备，所述光斑形状调节装置包括包括用于改变光斑形状的透镜，用于调整透镜垂直平面位置的调整架机构，以及分别连接调整架机构和透镜用于驱动透镜相对于调整架机构转动的转动机构。通过调整架机构可调整透镜的在垂直平面上的位置，使光束可以从透镜的中心位置射出，提高光斑形状调节装置的调节效果；再通过转动机构驱动透镜转动，即可实现椭圆光斑的长短轴方向的切换，实现对光斑形状的调整，本光斑形状调节装置具有结构简单，适用性好，调节效果好，调节效率高等特点。
一种光斑形状调节装置设备

[实用新型]一种光斑调节装置-CN201921345685.8有效
发明人：周黎明;李忠乾;辛焕寅;李海峰;李伟博;黄浩;盛存国;张红江;陈红;李贞;尹建刚;朱雄威;何奋能;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种光斑调节装置，其包括底板，滑动设置在底板上的扩束镜后段，与扩束镜后段同轴设置且可调整其装载镜片的前后位置的扩束镜前段，以及设置在扩束镜后段一侧用于调整扩束镜前段和扩束镜后段之间距离的距离调节机构。通过距离调节机构调整扩束镜前段和扩束镜后段之间距离即可调节经过扩束镜前段和扩束镜后段的光束的光斑大小，再通过可调整其装载镜片的前后位置的扩束镜前段，可以对光斑的大小进行微调；本光斑调节装置具有结构简单，调节范围大，调节精度高，生产成本低等特点。
一种光斑调节装置

[实用新型]调节装置-CN201822197380.9有效
发明人：周黎明;李忠乾;李海峰;黄浩;盛存国;张红江;辛焕寅;尹建刚;马林;曹园德;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： B23K26/042 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种调节装置。该装置包括架体、镜片组件及调节机构。镜片组件与架体连接，调节机构与镜片组件传动连接，调节机构能驱动镜片组件转动，以改变偏振方向。上述调节装置中，可以根据不同的切割材料对调节机构作出调节，操作第一调节机构使得镜片组件转动，光线经过镜片组件后可根据具体需求实现任意方向的偏振，从而改变切割参数，实现精细控制，调节的操作简单。
镜片组件调节装置偏振转动本实用新型传动连接架体连接切割材料切割参数需求实现机构能架体精细驱动

[实用新型]调节装置-CN201822197754.7有效
发明人：周黎明;李忠乾;李海峰;辛焕寅;黄浩;盛存国;张红江;尹建刚;马林;曹园德;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种调节装置。该装置包括底座、镜片组件、第一调节机构及第二调节机构。镜片组件与底座连接，第一调节机构与镜片组件传动连接，第一调节机构能驱动镜片组件绕镜片组件的轴线转动，第二调节机构设于底座上，镜片组件安装于第二调节机构上，第二调节件机构能相对于底座移动或偏转，与第一调节机构配合以改变经过镜片组件光线的偏振方向。上述的调节装置中，可以根据不同的切割材料对第一调节机构或第二调节机构作出调节，操作第一调节机构使得镜片组件转动，操作第二调节机构使得镜片组件相对底座移动或偏转，光线经过镜片组件后可根据具体需求实现任意方向的偏振，从而改变切割参数，实现精细控制，调节精度较高且调节操作简单。
镜片组件底座偏转调节装置机构能偏振本实用新型传动连接底座连接机构配合切割材料切割参数需求实现轴线转动移动转动精细驱动

[实用新型]调节装置-CN201822267163.2有效
发明人：周黎明;李忠乾;李海峰;黄浩;盛存国;张红江;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种调节装置。该调节装置包括底板、载台及调节组件，载台包括相互连接的承载圈及承载板，加工台安装于承载圈上，承载板安装于底板上，调节组件包括第一调节组件及第二调节组件，承载圈通过第一调节组件与承载板连接，调节第一调节组件、第二调节组件能改变承载圈所在平面相对承载板所在平面、承载板所在平面相对底板所在平面之间的夹角。上述调节装置中，通过对第一调节组件、第二调节组件的调节，即可改变承载圈所在平面相对承载板所在平面之间的夹角及承载板所在平面相对底板所在平面之间的夹角，进而调节载台上的加工台与工件的平行度，使得加工台与工件的平行度满足微米以内的加工要求，调节的精度较高，且操作简单方便。
调节组件所在平面承载板承载圈底板调节装置加工台平行度载台本实用新型加工

[实用新型]激光聚焦装置-CN201822206859.4有效
发明人：曹园德;巫礼杰;范小贞;李福海;曾威;周黎明;李忠乾;卢红利;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光聚焦装置，包括镜头、输入齿轮、输出齿轮及用于带动输入齿轮转动并对输入齿轮进行定位的驱动机构，镜头包括聚焦头和旋钮，输出齿轮与旋钮固定连接，输入齿轮与驱动机构的输出轴固定连接，输入齿轮与述输出齿轮啮合。本实用新型提供的激光聚焦装置，在调节镜头的焦点时，只需启动驱动机构，让输出轴带动输入齿轮转动，输入齿轮带动与其啮合的输出齿轮转动，输出齿轮带动与其固定连接旋钮转动，达到快速调节的镜头的焦点的目的，结构简单，调节速度快、精度高、效率高。
输入齿轮输出齿轮激光聚焦装置驱动机构镜头转动啮合本实用新型输出轴旋钮快速调节旋钮转动聚焦头焦点

[实用新型]一种激光加工间距调整结构-CN201821821062.9有效
发明人： 李忠乾;辛焕寅;李福海;费康杰;周黎明;李海峰;陈红;黄浩;张红江;柳啸;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本申请属于激光加工技术领域，公开了一种激光加工间距调整结构。所述激光加工间距调整结构包括安装架、驱动轴和皮带；将所述分光元器件放置于所述安装架内；所述驱动轴与所述分光元器件的轴线平行，且两者通过皮带相连接，所述驱动轴转动带动所述皮带转动进而带动所述分光元器件转动。通过转动所述驱动轴，使其转过一定的角度，进而带动所述分光元器件转过一定的角度改变射向所述待加工工件的多束所述子激光束中的每两束所述子激光束的焦点之间的实际有效加工的划痕间距。
驱动轴分光间距调整结构激光加工元器件转动子激光束安装架皮带激光加工技术待加工工件元器件放置皮带转动轴线平行划痕焦点申请加工

[发明专利]激光加工装置及方法-CN201610753873.9有效
发明人：王梅梅;李忠乾;费康杰;赵思;涂叙安;马国东;夏瑞雪;李福海;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光加工装置及方法；激光加工装置包括：激光发射器，所述激光发射器能够发出激光；驱动机构，设置于所述激光发射器的一侧；棱镜，所述棱镜与所述驱动机构相联动，所述驱动机构能够驱动所述棱镜运动，以使所述棱镜进入所述激光发射器发出的激光的路径，并对所述激光发射器发出的激光进行反射；倍频片，所述棱镜能够将所述激光发射器发出的激光反射至所述倍频片上，所述激光发射器能够发出激光在所述倍频片上形成可见光形成的光斑图像；及，检测机构，所述检测机构能够采集所述光斑图像的信息，并对所述光斑图像的信息进行分析。上述激光加工装置及方法能够对光斑进行实时监控。
激光发射器棱镜激光加工装置光斑图像驱动机构激光倍频可见光光斑激光反射实时监控联动反射采集驱动分析

[发明专利]无斜裂角LED芯片切割方法、光学透镜组件及激光切割设备-CN201811504266.4在审
发明人：辛焕寅;李忠乾;陈红;张红江;李福海;黄浩;李海峰;周黎明;张小军;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明公开一种基于无斜裂角LED芯片的切割方法、光学组件及激光切割设备，所述方法对以蓝宝石为衬底的晶圆片进行切割，晶圆片位于蓝宝石正面，所述方法包括以下步骤：激光器发出的激光束通过扩束镜增大光斑直径后，再通过第一可调光栅将光斑压缩到预设直径；激光束通过激光光束整形镜组件转变成贝塞尔环型光束，所述贝塞尔环型光束聚焦到蓝宝石背面以进行垂直切割。本发明中激光器发出的激光束依次通过扩束镜、第一可调光栅、激光光束整形镜组件后转变成形成缩小的贝塞尔环型光束以进行切割蓝宝石晶圆片，实现了切割后的LED芯片无斜裂角的方法，同时又保证了LED芯片的光电特性。
蓝宝石切割激光束晶圆片环型激光切割设备光栅激光光束激光器扩束镜整形镜可调光学透镜组件光斑垂直切割光斑压缩光电特性光束聚焦光学组件衬底预设背面保证

[实用新型]一种适用多尺寸晶圆的载物台-CN201821097173.X有效
发明人：张洪华;马林;李忠乾;李福海;曾威;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及载物装置领域，具体涉及一种适用多尺寸晶圆的载物台，所述晶圆设在塑料膜上，所述塑料膜四周贴有铁环，所述载物台包括用于吸附晶圆的吸盘和用于吸附铁环的吸附组件，所述吸盘上设有多尺寸刻槽，所述吸附组件安装在吸盘的侧边上。不同规格的晶圆可顺着不同的刻槽放置，再通过吸附组件吸附住铁环，使得载物台能够固定不同规格的晶圆，兼容性高。
晶圆吸盘吸附组件铁环吸附塑料膜载物台刻槽载物装置兼容性载物

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