专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]药液、药液的制造方法、基板的处理方法-CN201980011921.9有效
  • 杉村宣明;高桥智威;关裕之;水谷笃史 - 富士胶片株式会社
  • 2019-01-18 - 2023-09-29 - H01L21/308
  • 本发明提供一种对过渡金属含有物具有优异的蚀刻性能,且具有优异的缺陷抑制性能的药液、上述药液的制造方法及基板的处理方法。本发明的药液为包含选自由高碘酸及其盐组成的组中的一种以上的高碘酸类、选自由Ti及Zr组成的组中的一种以上的第1金属成分及水的药液,药液包含一种第1金属成分时,一种第1金属成分的含量相对于高碘酸类总质量为1质量ppt~100质量ppm,药液包含两种第1金属成分时,两种第1金属成分的含量分别相对于高碘酸类总质量为100质量ppm以下,两种第1金属成分中的至少一种成分的含量相对于上述高碘酸类总质量为1质量ppt以上。
  • 药液制造方法处理

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