专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]工件处理系统和等离子体产生装置-CN200680051225.3无效
  • 金重秀;李相勋;新井清孝 - 诺日士钢机株式会社
  • 2006-01-30 - 2009-02-04 - H05H1/24
  • 本发明提供一种工件处理系统(S),其设有:等离子体产生单元(PU),所述等离子体产生单元(PU)包括用于产生2.45GHz微波的微波产生器(20)、用于使微波进行传播的波导(10)和安装于面对工件(W)的波导(13)表面上的等离子体产生器(30);以及工件输送装置(C),其用于输送工件(W)使其通过等离子体产生器(30)。等离子体产生器(30)包括多个以阵列布置的等离子体产生喷嘴(31),所述等离子体产生喷嘴用于接收微波、基于接收电能产生等离子体转化气体以及释放产生的气体。当工件(W)由工件输送装置(C)输送时,该等离子体转化气体被吹到经过等离子体产生器(30)的工件(W)上。由此既可以连续地对多个工件进行等离子处理,又可以有效地对大面积的工件进行等离子处理。
  • 工件处理系统等离子体产生装置

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