专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果3个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]用于处理基片的方法和托板-CN201380038943.7在审
  • 托尼·罗杰斯;罗布·桑蒂利 - 应用微工程有限公司
  • 2013-02-13 - 2015-04-01 - H01L21/683
  • 本发明公开了一种用于处理和/或运输基片的托板和方法,诸如在基片的加工过程中,例如,背面变薄。托板和方法为基片提供支撑。加工特别适合将用于3D集成电路的基片变薄。托板包括:接触表面,该接触表面中具有一个或多个凹槽,凹槽用于在接触表面向基片靠近时形成空间,接触表面用于支撑基片;密封表面,该密封表面位于接触表面的周缘并从接触表面偏出;以及密封元件,该密封元件放置在密封表面上,且密封元件被配置为当基片与接触表面接触时被压缩,以对基片形成密封,密封将基片和托板之间所形成的空间密封起来。
  • 用于处理方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top