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- [发明专利]电磁加热装置-CN200810232210.8无效
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郝跃;李志明;张进诚;白俊春
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西安电子科技大学
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2008-11-10
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2009-04-08
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H05B6/02
- 本发明公开了一种电磁加热装置，主要解决半导体衬底加热不均匀问题。该装置包括发热体和线圈，线圈(5)缠绕在发热体(1)的外部，发热体(1)上开有环形槽(6)，以改变热传导方向。当线圈中通入交变电流时，发热体上的环形槽(6)将发热体因感应产生的热量分成两部分，其中位于槽上方的一部分热量直接对发热体上表面或放于其上的衬底边缘附近进行加热；位于槽下方的另一部分热量由于槽的阻断，则沿槽的下部分绕过而传至发热体的中心附近，以提高发热体上表面温度分布的均匀性，使被加热的衬底(4)均匀受热，本发明可用于MOCVD反应室内获得均匀的淀积膜层。
- 电磁加热装置
- [实用新型]传输线测量装置-CN00250561.4无效
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张家纪;张进诚;陈俊宏;郭智伟
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振辰科技股份有限公司
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2000-09-06
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2001-09-05
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G01R31/02
- 一种传输线测量装置,该装置包括有一主机及一副机,在传输线插接于主、副机上时,该主机中的中央处理单元依序送出测量信号后,将脉冲信号送至副机内部,当副机的第二显示单元有一回路为接地状态时,利用此接地状态,即可让电流回至主机里,如此,依序点亮第一显示单元及第二显示单元,即可在极短暂时间里,完成一条传输线的测试。
- 传输线测量装置
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