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[发明专利]量测方法和设备以及计算机程序-CN201880049568.9有效
发明人：马克·约翰尼斯·努特;S·G·J·马西森;K·巴塔查里亚;边珍武;金贤洙;张源宰;T·D·戴维斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了用于测量过程效应参数的方法、计算机程序和量测设备，所述过程效应参数与用于在衬底上制造集成电路的制造过程相关。所述方法包括：针对一结构，在消除或减轻所述过程效应参数对每个都与不同的测量条件相关的多个测量值的影响的同时，根据所述多个测量值确定品质度量的第一品质度量值；和在未消除或减轻所述过程效应参数对与至少一个测量条件相关的至少一个测量值的影响的情况下，根据所述至少一个测量值确定所述品质度量的第二品质度量值。接着可以根据所述第一品质度量值和所述第二品质度量值，例如通过计算所述第一品质度量值与所述第二品质度量值之间的差，计算所述过程效应参数的过程效应参数值。
方法设备以及计算机程序

[发明专利]用于确定图案化过程参数的方法-CN201880061025.9有效
发明人： M·J·J·杰克;S·G·J·马斯杰森;K·布哈塔查里亚;张源宰;边珍武 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于确定图案化过程参数的方法，该方法包括：针对目标，从利用包括中心波长的辐射照射该目标所获得的数据计算中间参数的第一值；针对该目标，从利用包括两种不同中心波长的辐射照射该目标所获得的数据计算该中间参数的第二值；并且基于该中间参数的第一值和第二值计算图案化过程参数的组合测量。
用于确定图案过程参数方法

[发明专利]保护薄膜用聚丙烯树脂以及保护薄膜-CN201480047599.2有效
发明人：朴智溶;金昌熙;张源宰 -专利权人：韩华道达尔有限公司
申请日： 2014-06-18 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： C08F10/06 文献下载
摘要：本发明所涉及的保护薄膜用聚丙烯树脂的特征在于，聚丙烯树脂内乙烯的含量为重量百分比10～20％，所述乙烯的含量与b)溶剂提取物内乙烯含量的比率(a/b)为3～4，从而在与粘合层的剥离性方面较为优异，并且在减少鱼眼的产生方面显示出优异的效果。此外，利用所述聚丙烯树脂而被制造出的保护薄膜由于与粘合层的剥离性优异以及鱼眼的产生降低，从而能够作为棱镜薄片、微透镜薄膜、图案导光板以及扩散板等具有细微的表面凹凸的背光单元光学薄片的保护薄膜来应用。
保护薄膜聚丙烯树脂以及

[发明专利]用于母线管道的、具有增强的散热性能和强度的母线-CN200910159878.9无效
发明人：金东郁;金泰成;李东垠;李相勋;许诚洙;张源宰;朴成熙 -专利权人： LS电线有限公司
申请日： 2009-07-16 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于母线管道的、具有增强的散热性能和强度的母线，更具体地，提供了一种空心型的母线以减小横截面积并提高散热性能和强度。母线的结构包括一个或多个空心部分。由于母线的散热性能得到增强，因此与现有的实心型母线相比，单位电流的最大横截面积可以减小。此外，由于截面惯性矩增加，因此与实心型母线相比，母线的机械强度可以增强。而且，由于母线的宽度增加，因此组装期间的操作变得容易。
用于母线管道具有增强散热性能强度