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[实用新型]一种陶瓷柱安装吊具-CN202320313563.0有效
发明人：韩广龙;高洪涛;张兵科 -专利权人：上海昶火微电子科技有限公司
申请日： 2023-02-25 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B66C1/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种陶瓷柱安装吊具，包括底盘、位于所述底盘上的固定块与滑块以及对滑块锁紧的锁紧结构；其中：所述底盘为圆形结构体；所述固定块固定于所述底盘上，所述固定块上设置有固定卡座；所述滑块沿所述底盘轴线方向运动，所述滑块上设置有滑动卡座；所述锁紧结构包括锁紧支架与锁紧把手，所述滑块贯穿于所述锁紧支架，所述锁紧把手将滑块锁紧。采用本实用新型的吊具，能够避免陶瓷柱被歪斜吊起，保证陶瓷柱处于竖直状态下，进而使安装操作更为顺利，避免陶瓷柱受损。
一种陶瓷安装

[实用新型]一种PECVD CSD拉杆拆除工具-CN202221026661.8有效
发明人：王峰峰;高洪涛;张兵科 -专利权人：苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）
申请日： 2022-04-30 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PECVD CSD拉杆拆除工具，包括定位杆，所述定位杆上设置有立柱与定位柱，所述立柱位于所述定位杆顶部，所述立柱与CSD拉杆的拆卸孔配合，所述定位柱位于所述定位杆底部，所述定位柱自所述定位杆的圆周面向外凸出；把手，所述把手位于所述定位杆底部，所述把手上设有定位槽，所述定位槽与所述定位柱配合卡接，卡接后，把手转动时，带动所述定位杆进行转动。本实用新型采用能够使把手在转动时带动定位杆进行转动，将CSD拉杆拆卸，因此能够方便、快捷的将CSD拉杆从PECVD设备上进行拆除，提升对CSD拉杆的拆卸效率，进而提升工作效率，而两个立柱与CSD拉杆的拆卸孔配合，能够有效地避免在拆卸过程中损伤腔体的密封面，防止CSD拉杆的变形与损坏。
一种 pecvd csd 拉杆拆除工具