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[发明专利]具有金属蚀刻残留物的室部件的清洁方法-CN202180089442.6在审
发明人：杨文兵;萨曼莎·西亚姆华·坦;林染;塔玛尔·穆克吉;康潇宇;潘阳;石洪;周春红 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：提供一种在半导体处理室的部件的至少一表面上清洁残留物的方法，该残留物含有钌(Ru)残留物。将该残留物暴露至Ru清洁成分，其包含次氯酸盐以及O3基底的化学物质的至少一者，其中该Ru清洁成分去除该Ru残留物。
具有金属蚀刻残留物部件清洁方法

[发明专利]水基生物磁流体的制备方法-CN201010300662.2无效
发明人：乔秀颖;孙康;陶可;周君;白明文;吴静远;康潇宇 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-01-25 - 公布日： 2010-06-02 - 主分类号： H01F1/44 文献下载
摘要：一种生物材料技术领域的水基生物磁流体的制备方法，通过将三价铁盐和水溶性高分子溶于二甘醇中，在氮气保护环境下升温搅拌反应，然后迅速注射入二甘醇单甲醚溶液并继续加热反应；进一步加入丙酮，经磁铁吸附分离、洗涤和分散于去离子水后中制备得到水基生物磁流体。本发明制备得到生物相容性好的水溶性Fe3O4磁性纳米粒子，纳米粒子粒径分布窄、均一性好、结晶度高、可控性强，所得水基生物磁流体稳定性和生物相容性好，生物磁流体的磁响应效能和流变特性可通过磁性纳米粒子的表面特性包括包覆物的种类、结构和包覆率进行调控。
生物流体制备方法