专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体装置的制造方法-CN03804690.3无效
  • 工藤宽;稻泽刚一郎 - 东京毅力科创株式会社
  • 2003-01-24 - 2005-07-13 - H01L21/768
  • 本发明提供一种半导体装置的制造方法。在双镶嵌式方法中,防止弯曲和蚀槽的产生。对于如图2(A)所示的那样具有断面构造的制造过程的半导体装置,进行如图2(B)所示的氮化硅蚀刻。其结果是铜膜(26)的一部分被氧化而变成氧化物(43),另外,CFx沉积物(44)在其上堆积。但是,在图2(C)中,可以通过使用氢等离子体进行有机绝缘膜的蚀刻,使氧化物(43)还原为铜,另外,可以通过将CFx沉积物转换为挥发性的化合物而除去。
  • 半导体装置制造方法

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