专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种三维集成电路堆栈集成方法及三维集成电路-CN201610364979.X有效
  • 田野;任宁;吴海宏;尚拴军 - 河南工业大学
  • 2016-05-26 - 2018-08-21 - H01L21/60
  • 本发明涉及一种三维集成电路堆栈集成方法及三维集成电路,属于集成电路制造技术领域。本发明的三维集成电路堆栈集成方法包括:在硅晶圆基体两面上制备形成纳米化镍焊盘层,在镍焊盘层表面进行自纳米化处理形成纳米化镍结构层,在硅晶圆一面的纳米化镍结构层上制备形成锡钎料层,将硅晶圆的两面分别光刻形成纳米化镍/锡微凸点及纳米化镍焊盘,切割得到芯片单元;通过固液互扩散键合在芯片单元与芯片基板或者芯片单元与芯片单元之间形成Ni3Sn4互连点,实现三维芯片垂直堆栈集成,即得。本发明的三维集成电路堆栈集成方法极大的提高了芯片的堆叠效率和互连可靠性。
  • 一种三维集成电路堆栈集成方法

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