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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]光场驱动的氮化镓-金非对称纳米隧道结器件及其制备方法-CN202310761649.4在审
发明人： 宋轶环 -专利权人：郑州大学
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L23/66 文献下载
摘要：本发明涉及光场驱动技术领域，具体公开了光场驱动的氮化镓‑金非对称纳米隧道结器件，包括氮化镓衬底，氮化镓衬底的上表面上镀有领结型纳米天线，领结型纳米天线为金膜材质，领结型纳米天线的中心位置设置有间隙，间隙的宽度为亚十纳米级。本发明例降低了实现光场驱动的超快过程需要的外加场强，大大减小了器件烧毁的可能性，同时将光响应电流从pA量级提升到nA量级，为实现光频电子器件的实际应用贡献了可行的技术方案。本发明还公开了光场驱动的氮化镓‑金非对称纳米隧道结器件的制备方法，采用几何校正的方法，为邻近效应造成的影响预留一定的空间，向反方向设计图案去弥补因邻近效应可能出现的形变，从而得到目标尺寸间隙的图案。
驱动氮化对称纳米隧道器件及其制备方法

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