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[发明专利]磷酸二氢钾类晶体的表面抛光方法-CN201610271922.5有效
发明人：蔡长龙;刘卫国;包强;姬娇;周顺;刘欢;秦文罡;惠迎雪;陈智利 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及磷酸二氢钾类晶体的表面抛光方法。现有磷酸二氢钾类晶体的表面抛光技术存在的表面粗糙度高、给磷酸二氢钾类晶体表面带来损伤或杂质嵌入、磷酸二氢钾类晶体表面存在周期性刀痕波纹等问题。本发明在磷酸二氢钾类晶体表面旋涂一层平坦化层，使其表面粗糙度低于1.5nm，然后进行低温热处理一定时间，放入真空室，利用离子束抛光，直至完全去除表面平坦化层，使平坦化层的光滑表面传递到磷酸二氢钾类晶体表面，获得磷酸二氢钾类晶体的超光滑表面。该技术加工过程中无机械加工应力，抛光过程中材料去除量可以控制到原子量级，可达到很高的抛光效果。
磷酸二氢钾类晶体表面抛光方法

[发明专利]KDP光学表面平坦化方法-CN201510261654.4在审
发明人：蔡长龙;刘卫国;姬娇;刘欢;周顺;陈智利;秦文罡;惠迎雪;包强 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2015-05-21 - 公布日： 2015-09-23 - 主分类号： B05D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及KDP光学表面平坦化方法。目前KDP晶体的超精密加工方法会在KDP晶体表面残留抛光液，在KDP晶体表面产生小尺度波纹，影响KDP晶体的光学表面质量。本发明以经过单点金刚石车削抛光后的KH₂PO₄光学晶体材料作为加工对象，采用自旋涂胶的方法在KH₂PO₄光学晶体材料的光学表面涂覆一层聚合物膜，再经真空热处理后在KH₂PO₄光学晶体材料表面形成一层表面粗糙度低的聚合物层，聚合物层的上表面为平坦化表面。本发明在KDP表面形成一层机械性能良好、性质稳定、表面粗糙度低的聚合物膜，工艺过程简单，对设备要求低，成本低廉，在KDP光学表面可获得较好的平坦化效果，且应用前景可观。
kdp 光学表面平坦方法