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[发明专利]数据取得装置-CN201880093010.0有效
发明人： 大平真由美;铃木良政 -专利权人：仪景通株式会社
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：提供能够以高准确度计算折射率的数据取得装置。数据取得装置具备光源、第1分束器、规定的分束器、第1光偏转元件、第2光偏转元件、第1测定单元、第2测定单元、第2分束器以及光检测器，在第1分束器中，通过光学膜，从入射的光生成沿第1方向行进的光和沿第2方向行进的光，第2测定光路位于第1方向上，参照光路位于第2方向上，规定的分束器配置于第2测定光路或者配置于参照光路，第1测定光路位于规定的分束器与光检测器之间，在第1测定光路中配置有第1光偏转元件和第1测定单元，在第2测定光路中配置有第2光偏转元件和第2测定单元，第1测定光路与第2测定光路交叉。
数据取得装置

[发明专利]试样结构测量装置及试样结构测量方法-CN201980099588.1在审
发明人： 大平真由美 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：提供一种试样结构测量装置，其能够不受试样的形状、试样的大小、以及试样与周围的折射率差所左右而准确地测量试样的折射率分布。试样结构测量装置(1)具备：光源(2)；光路分支部(3)，其将来自光源(2)的光分支为通过试样的测量光路(OPm)和参照光路(OPr)；光路合流部(4)，其使测量光路(OPm)的光和参照光路(OPr)的光合流；光检测器(5)，其具有多个像素，检测从光路合流部入射的光，输出入射的光的相位数据；以及处理器(6)，第1区域是存在试样的区域，第2区域是不存在试样的区域，处理器(6)将相位数据分割为第1区域的相位数据和第2区域的相位数据，基于第1区域的相位数据设定为估计试样结构的初始结构，使用透射过估计试样结构的模拟的光和透射过试样的测量光来使估计试样结构最优化。
试样结构测量装置测量方法