专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]评价方法、曝光方法以及物品的制造方法-CN201611180236.3有效
  • 大久保徹 - 佳能株式会社
  • 2016-12-20 - 2019-11-26 - G03F7/20
  • 一种评价方法包括:转印工序,将掩模多个图案要素通过曝光装置的投影光学系统转印到基板;第1工序,根据转印工序中转印结果,求出与基于投影光学系统的多个图案要素各自的投影位置有关的第1特性值,将多个图案要素的第1特性值平均值作为表示投影光学系统像差的第1信息求出;检测工序,检测通过投影光学系统投影的多个图案要素像;第2工序,根据检测工序中的检测结果,求出关于基于投影光学系统的多个图案要素各自的投影位置的第2特性值,将多个图案要素第2特性值的平均值及多个图案要素各个的第2特性值与该第2特性值的平均值之差作为表示投影光学系统像差的第2信息求出;评价工序,根据第1信息和第2信息评价投影光学系统的像差。
  • 评价方法曝光以及物品制造

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