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[发明专利]处理装置-CN201210207818.1有效
发明人： 外岛正人;林赫·卡恩 -专利权人：奥宝科技LT太阳能有限公司
申请日： 2009-03-24 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种使向处理室输入、输出工件的操作效率化并提高工件的处理效率的处理装置。该处理装置，包括：等离子处理室，设置有第一供给排出口和第二供给排出口，第一供给排出口和第二供给排出口分别用于输入未处理的工件和输出处理后的工件；第一负载锁定室和第二负载锁定室，配置在等离子处理室的两侧，并且等离子处理室夹在第一负载锁定室和第二负载锁定室之间；以及控制部，控制所述处理装置，使得通过交替地进行从第一负载锁定室向处理室供给未处理工件的操作和从第二负载锁定室向处理室供给未处理的工件的操作来处理工件，从而当从所述处理装置的一个供给侧来看时，能够在处理室中每进行两次等离子处理供给一次工件。
处理装置

[发明专利]处理装置及处理方法-CN200980119052.8有效
发明人： 外岛正人;林赫·卡恩 -专利权人：奥宝科技LT太阳能有限公司
申请日： 2009-03-24 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种使向处理室输入、输出工件的操作效率化并提高工件的处理效率的处理装置及处理方法。在具有设置有第一供给排出口与第二供给排出口的处理室(10)的处理装置中，包括：第一输送机构，进行经由所述第一供给排出口供给排出工件(30)的操作；第二输送机构，进行经由所述第二供给排出口供给排出工件(30)的操作；交换单元，将通过所述第一输送机构输入并处理后的工件(30a)转移至所述第二输送机构，并将通过所述第二输送机构输入并处理后的工件(32a)转移至所述第一输送机构；以及控制部(22)，驱动所述第一输送机构和所述第二输送机构，从所述第一供给排出口与所述第二供给排出口交替地将未处理的工件提供给所述处理室加以处理。
处理装置方法