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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]感光性树脂层叠体和抗蚀图案的制造方法-CN201910093907.X有效
  • 吉田真典 - 旭化成株式会社
  • 2019-01-30 - 2023-02-28 - G03F7/004
  • 提供用于支承薄膜剥离后曝光的感光性树脂层叠体和抗蚀图案的制造方法及布线基板的制造方法。该层叠体具备：支承薄膜、以及配置于其上并包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，该组合物含有(A)碱溶性高分子、(B)与光引发剂具有反应性的化合物、以及(C)光引发剂，其中，分别根据下述(1)和(2)并利用特定曝光装置进行曝光得到的第1和第2抗蚀图案之间的、可图案化的最小独立细线宽度的差为5μm以下。(1)使用曝光装置，以使焦点位置对准于支承薄膜表面的状态进行曝光，从曝光后的感光性树脂组合物层剥离支承薄膜；(2)剥离支承薄膜，接着使用曝光装置，以使焦点位置对准于曾经为支承薄膜表面的位置的状态进行曝光。
  • 感光性树脂层叠图案制造方法
  • [发明专利]感光性树脂组合物-CN201680049309.7有效
  • 吉田真典;国松真一;西本秀昭 - 旭化成株式会社
  • 2016-08-19 - 2020-11-06 - G03F7/033
  • 一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属双键的化合物、及(C)光聚合引发剂，(A)碱溶性高分子的根据下述数学式(I){数学式(I)中，Wi为构成碱溶性高分子的各共聚单体的质量，Tgi为构成碱溶性高分子的共聚单体的各自形成均聚物时的玻璃化转变温度，Wtotal为碱溶性高分子的合计质量，此外n为构成该碱溶性高分子的共聚单体的种类的数量。}求出的玻璃化转变温度(Tgtotal)为100℃以下，(B)具有烯属双键的化合物含有具有烯属双键和三嗪‑三酮结构的化合物。
  • 感光性树脂组合
  •  1 
  • 共 4 条
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