专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种光波导及其制作方法-CN201510385001.7有效
  • 徐培鹏;史玉秀;聂秋华;沈祥;李双 - 宁波大学
  • 2015-06-30 - 2018-03-09 - G02B6/10
  • 一种光波导及其制作方法,包括SOI基片,其特征在于所述SOI基片的顶层硅上设有一层掩膜层,所述掩膜层呈现光波导的掩膜图案,所述掩膜层的上方设有一层薄膜层,所述薄膜层与所述掩膜层相接触的面相互匹配,并且所述薄膜层的顶部为光滑平整的表面。通过该方法种制备的硫系玻璃光波导,制作工艺简单可控,制作的光波导均匀性好;而且方法无需对硫系玻璃膜层进行显影、刻蚀等传统光波导制作过程,可避免显影液、等离子气体对硫系玻璃的腐蚀作用和繁琐的刻蚀参数调节。
  • 一种波导及其制作方法

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