“卢增雄”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果71个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种深紫外光学系统共焦对准装置-CN201621385190.4有效
发明人： 卢增雄;齐月静;王宇;苏佳妮;齐威;杨光华;周翊;孟庆宾 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克‐哈特曼波前传感器(7)。本实用新型基于该装置的结构，进行深紫外光学系统与球面反射镜的共焦对准调整，利用共焦对准模型采集样本，实现快速、高精度的共焦对准。
一种深紫光学系统对准装置

[发明专利]一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法-CN201510264841.8有效
发明人： 卢增雄;梅东滨;齐月静;孟庆宾;刘广义;齐威;苏佳妮;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：本发明是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法，是采用夏克‑哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克‑哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形状的精确测量，将微孔衍射波前形状与最佳参考球比较便可求得微孔衍射波前的偏差，只需要在标定装置的基础上直接加入聚焦物镜和微孔，便可实现微孔衍射波前质量的测量，操作简便，引入的系统误差较小且容易实现系统误差的高精度标定。其中微孔板引入的球差可通过聚焦物镜进行补偿，并且通过调整夏克‑哈特曼波前传感器到微孔的距离便可实现不同数值孔径大小的衍射波前质量的快速高精度的测量。
一种微孔衍射质量测量装置方法

[实用新型]基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪-CN201621424000.5有效
发明人： 卢增雄;齐月静;王宇;齐威;杨光华;苏佳妮;周翊 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-12-22 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪，涉及光学测量技术领域。本实用新型提出的光束空间相干长度测量仪采用具备非等间距排列的多孔阵列板，通过探测器采集多孔衍射波前的干涉图，只需单次测量，便可测得光束的空间相干长度，仪器结构简单，测量速度快。
基于多孔阵列光束空间相干长度测量仪

[发明专利]一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法-CN201410185411.2有效
发明人： 卢增雄;齐月静;苏佳妮;丁功明;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2014-05-04 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法。该装置主要由准分子激光器、直角棱镜组、匀光聚焦物镜系统、光纤耦合物镜、多模光纤、成像物镜、照明掩模板、准直物镜及夏克‑哈特曼波前传感器组成；其中，从准分子激光器输出的狭长的矩形光斑经直角棱镜组扩束后得到方形光斑，方形光斑经过匀光聚焦物镜系统和光纤耦合物镜后被耦合入多模光纤中；由多模光纤出射的发散球面波经成像物镜后成像到照明掩模板上产生多个非相干球面波，这些非相干球面波经过投影物镜系统后携带其波像差信息，再经过准直物镜后成为平面波，平面波被夏克‑哈特曼波前传感器的微透镜阵列分成多个子光束，这些子光束聚焦到夏克‑哈特曼波前传感器的探测器上，测得投影物镜系统的波像差信息。
一种光刻投影物镜系统波像差测量装置方法

[发明专利]一种光学系统波像差测量装置与测量方法-CN201410373440.1有效
发明人： 卢增雄;齐月静;苏佳妮;杨光华;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2014-07-31 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学系统波像差测量装置和方法，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克‑哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换后成为s偏振平面波；偏振分光棱镜用于将经1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射来自1/4波片透射的p偏振光；1/4波片用于将来自偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波，以及将由来自反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波；反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面沿原路返回；夏克‑哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。本发明可以实现各种复杂光学系统波像差的高精度检测。
一种光学系统波像差测量装置测量方法

[实用新型]一种用于光学传感器测量光路调整的集成调节结构-CN201620733644.6有效
发明人：齐威;齐月静;苏佳妮;卢增雄;王魁波 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于光学传感器测量光路调整的集成调节结构，采用上、中、下三层的结构，其上层结构为紧凑型二自由度平移调整台，中层结构为圆筒形调高与调平结构，下层结构为支撑、密封和固定结构。其中，上层结构可以调节水平向X、Y位置，中间层通过与传感器安装座的调节螺钉可以调节θx、θy两个旋转自由度以及竖向Z的位置，最下层结构用于安装哈特曼传感器或CCD传感器。该集成调节结构为一个紧凑的模块，可以实现X、Y、θx、θy、Z五个自由度的调节，而且操作简洁，便于拆卸、安装、移动。
一种用于光学传感器测量调整集成调节结构

[实用新型]一种微孔衍射波前质量的测量装置-CN201520337327.8有效
发明人： 卢增雄;梅东滨;齐月静;孟庆宾;刘广义;齐威;苏佳妮;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置，是采用夏克-哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克-哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形状的精确测量，将微孔衍射波前形状与最佳参考球比较便可求得微孔衍射波前的偏差，只需要在标定装置的基础上直接加入聚焦物镜和微孔，便可实现微孔衍射波前质量的测量，操作简便，引入的系统误差较小且容易实现系统误差的高精度标定。其中微孔板引入的球差可通过聚焦物镜进行补偿，并且通过调整夏克-哈特曼波前传感器到微孔的距离便可实现不同数值孔径大小的衍射波前质量的快速高精度的测量。
一种微孔衍射质量测量装置

[实用新型]一种光学系统波像差测量装置-CN201420429293.0有效
发明人： 卢增雄;齐月静;苏佳妮;杨光华;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2014-07-31 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学系统波像差测量装置，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换后成为s偏振平面波；偏振分光棱镜用于将经1/2波片透射的s偏振平面波反射到1/4波片，并透射来自1/4波片透射的p偏振光；1/4波片用于将来自偏振分光棱镜的s偏振平面波转换成为圆偏振平面波，以及将由来自反射装置的圆偏振平面波转换成为p偏振平面波；反射装置用于使来自1/4波片的圆偏振平面沿原路返回；夏克-哈特曼波前传感器则用于测量入射到其上的p偏振光的波像差。本实用新型可以实现各种复杂光学系统波像差的高精度检测。
一种光学系统波像差测量装置

[实用新型]一种光刻投影物镜系统波像差测量装置-CN201420224944.2有效
发明人： 卢增雄;齐月静;苏佳妮;丁功明;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2014-05-04 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜系统波像差测量装置，该装置主要由准分子激光器、扩束棱镜、匀光聚焦物镜系统、光纤耦合物镜、多模光纤、成像物镜、照明掩模板、准直物镜及夏克-哈特曼波前传感器组成；其中，从准分子激光器输出的狭长的矩形光斑经扩束棱镜扩束后得到方形光斑，方形光斑经过匀光聚焦物镜系统和光纤耦合物镜后被耦合入多模光纤中；由多模光纤出射的发散球面波经成像物镜后成像到照明掩模板上产生多个球面波，这些球面波经过投影物镜系统后携带其波像差信息，再经过准直物镜后成为平面波，平面波被夏克-哈特曼波前传感器的微透镜阵列分成多个子光束，这些子光束聚焦到夏克-哈特曼波前传感器的探测器上，测得投影物镜系统的波像差信息。
一种光刻投影物镜系统波像差测量装置

[发明专利]点衍射干涉仪小孔板的支撑结构-CN201310085979.2无效
发明人：马冬梅;邵晶;张海涛;聂真威;周烽;卢增雄 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2013-03-18 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：点衍射干涉仪小孔板的支撑结构属于微应力支撑领域，该结构具有应力小的特点，使小孔板均匀受力，从而减少小孔板的应力变形。该结构由支撑基板和小孔板组成，在支撑基板上有一个以支撑基板的圆心为圆心的圆形凹槽；小孔板的直径与凹槽的内径相同且小孔板的边缘与凹槽的内径边缘紧密贴合；所述凹槽内均匀分布光学胶，支撑结构通过光学胶与小孔板连接。本发明通过毛细现象由光学胶把小孔板和支撑基板紧密固定，使小孔板由圆心向四周发散的应力尽可能的减小，并降低小孔板的形变。
衍射干涉仪小孔支撑结构

[发明专利]可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法-CN201110129360.8无效
发明人： 卢增雄;金春水;王丽萍 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2011-05-18 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法，本发明属于参考球面波超高精度检测方法领域，克服了哈特曼波前传感器对波前微小偏差检测的限制，能够实现波前的高精度检测。光路包括：一束入射会聚光波，一块光栅，一个沿正交方向开有三个圆孔的小孔板，一个电荷耦合器，该电荷耦合器的输出端接计算机。一束入射会聚光波经过光栅衍射后，被分成若干个衍射级，让±1级衍射光分别通过两个小孔，由小孔衍射后产生近于理想的球面波，两个球面波发生剪切干涉，在CCD探测器上记录干涉图，采集到干涉图后便可获得衍射波前的偏差。本发明在可见光波段，通过双孔衍射产生的球面波进行剪切干涉，从而实现衍射波前的高精度检测。
可见光衍射干涉仪参考球面偏差检测装置方法

首页
«上一页
1
2
3
4
5
共 71 条