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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于在复杂图案化结构中进行测量的方法和系统-CN201710709560.8有效
发明人： 博亚兹·布里尔;鲍里斯·舍曼 -专利权人：诺威量测设备股份有限公司
申请日： 2012-01-03 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于在复杂图案化结构中进行测量的方法和系统。为结构中的相同测量部位提供完整模型和至少一个近似模型，所述至少一个近似模型满足在完整模型和近似模型之间的关系由预定函数确定的条件。为由近似模型对近似模型的整个参数空间计算出的模拟数据创建库。还提供在所述参数空间的所选点中与由完整模型计算出的模拟数据对应的数据。近似模型数据的库和完整模型的所述数据被用于创建所述参数空间的校正项的值的库，所述校正项被确定为完整模型和近似模型之间的关系的所述预定函数。这使得能够通过将测量数据拟合到模拟数据来处理所述测量数据，该模拟数据通过由校正项的对应值校正的近似模型来计算。
用于复杂图案结构进行测量方法系统

[发明专利]用于在复杂图案化结构中进行测量的方法和系统-CN201280004552.9有效
发明人： 博亚兹·布里尔;鲍里斯·舍曼 -专利权人：诺威量测设备股份有限公司
申请日： 2012-01-03 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开一种在复杂图案化结构中进行测量的方法和系统。为结构中的相同测量部位提供完整模型和至少一个近似模型，所述至少一个近似模型满足在完整模型和近似模型之间的关系由预定函数确定的条件。为由近似模型对近似模型的整个参数空间计算出的模拟数据创建库。还提供在所述参数空间的所选点中与由完整模型计算出的模拟数据对应的数据。近似模型数据的库和完整模型的所述数据被用于创建所述参数空间的校正项的值的库，所述校正项被确定为完整模型和近似模型之间的关系的所述预定函数。这使得能够通过将测量数据拟合到模拟数据来处理所述测量数据，该模拟数据通过由校正项的对应值校正的近似模型来计算。
用于复杂图案结构进行测量方法系统

[发明专利]用于光学测量具有通孔的图案化结构的方法-CN201280011944.8有效
发明人：吉拉德·巴拉克;博亚兹·布里尔 -专利权人：诺威量测设备股份有限公司
申请日： 2012-01-18 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提出一种用于测量具有通孔的图案化结构的光学系统。该系统被配置为并且可操作用于使得能够测量通孔轮廓参数。该系统包含用于将照明光传播到正被测量的结构上的照明通道、用于将从受照明结构返回的光聚集到检测单元的检测通道，以及调制组件，该调制组件被配置为并且可操作用于通过执行以下项中的至少一个实施暗场检测模式：影响沿照明通道和检测通道传播的光的至少一个参数，以及影响至少沿检测通道的光传播。
用于光学测量具有图案结构方法

[发明专利]在图案化结构中进行测量的方法和系统-CN201180020938.4有效
发明人： 博亚兹·布里尔;鲍里斯·舍曼 -专利权人：诺威量测设备股份有限公司
申请日： 2011-02-24 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了用于测量图案化结构的至少一个参数的方法和系统。该方法包括：提供输入数据，输入数据包括：测量数据，其包括：与该结构的不同地点的测量对应的多个测量信号；以及表示理论信号的数据，理论信号和测量信号之间的关系该表示结构的至少一个参数；提供基于表征结构的至少一个特性的至少一个所选全局参数的罚函数；以及在理论信号和测量信号之间进行拟合操作，所述拟合操作包括通过所述罚函数来确定理论信号和测量信号之间的优化关系，并使用优化关系来确定该结构的所述至少一个参数。
图案结构进行测量方法系统

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共 4 条

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