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- [实用新型]微位移实时干涉测量仪-CN03228828.X无效
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王向朝;李代林;刘英明
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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2003-02-14
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2004-01-14
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G01B9/02
- 一种微位移实时干涉测量仪，其特点是它包括：带有第一直流电源的光源，在该光源发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体；在该分束器的反射光束f2方向置有接收元件，其输出送单片机，再接显示器；在该偏振分束器的反射光束f1前进的方向上，依次置有第二透镜和调制光源；该调制光源带有驱动器，该驱动器连接第二直流电源和移相器，该移相器另一端接正弦信号发生器，该正弦信号发生器经控制器接单片机。该光源和调制光源发出的光束是偏振面相互垂直的偏振光。本实用新型的优点是能高精度地实时完成信号的采集、处理和显示，而且操作简便、测量数据可靠。
- 位移实时干涉测量仪
- [发明专利]微位移实时干涉测量仪-CN03115410.7无效
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王向朝;李代林;刘英明
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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2003-02-14
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2003-07-23
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G01J9/00
- 一种微位移实时干涉测量仪，其特点是它包括：带有第一直流电源的光源，在该光源发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体；在该分束器的反射光束f2方向置有接收元件，其输出送单片机，再接显示器；在该偏振分束器的反射光束f1前进的方向上，依次置有第二透镜和调制光源；该调制光源带有驱动器，该驱动器连接第二直流电源和移相器，该移相器另一端接正弦信号发生器，该正弦信号发生器经控制器接单片机。该光源和调制光源发出的光束是偏振面相互垂直的偏振光。本发明的优点是能高精度地实时完成信号的采集、处理和显示，而且操作简便、测量数据可靠。
- 位移实时干涉测量仪
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