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- [实用新型]一种特殊气体输送用专用管道-CN202221640968.7有效
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汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔
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九未实业(上海)有限公司
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2022-06-28
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2022-12-23
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F16L9/00
- 本实用新型公开了一种特殊气体输送用专用管道,包括管道主体,所述管道主体的内部开有输送槽,所述管道主体的内部固定连接有耐腐蚀结构,所述耐腐蚀结构位于输送槽内,所述管道主体的左端和右端均固定连接有连接管,两个所述连接管的左端和右端均开有接槽,两个所述接槽内均固定连接有若干个均匀分布的螺纹管,所述管道主体的外表面活动连接有防护结构。本实用新型所述的一种特殊气体输送用专用管道,通过设置耐腐蚀结构和防护结构,提高特殊气体输送过程的耐腐蚀强度,使管道的耐腐蚀性能实现双重性,使管道的防护位置增加可调节性,锰板和铬板共同增加管道的耐压强度,避免管道使用时出现偏移或自由移动的现象。
- 一种特殊气体输送专用管道
- [实用新型]一种混气输送管道结构-CN202222542301.X有效
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汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔;汪小龙
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九未实业(上海)有限公司
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2022-09-26
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2022-12-20
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B01F25/4314
- 本实用新型公开了一种混气输送管道结构,涉及混气管道技术领域,包括混气管本体,混气管本体的内壁面上从上往下依次固定安装有一号锥形板、一号螺旋片、混气机构、二号螺旋片和二号锥形板,所述一号锥形板呈倒锥形结构设置且下端设置有开口,所述二号锥形板与一号锥形板形状一致且呈上下对称设置,所述混气管本体的上端和下端分别固定安装有一号锥形管和二号锥形管,所述一号锥形管上穿插固定安装有一组一号进气管,所述一号进气管设置为一组四个且呈环形阵列分布。本实用新型所述的一种混气输送管道结构,能够通入多种不同的气体进行混合,实用性强;同时可以使混气管本体内气体进行三次混合工作,气体混合均匀,提高了混合效果。
- 一种输送管道结构
- [实用新型]一种ALD加热炉-CN202222442159.1有效
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汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔;汪小龙
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九未实业(上海)有限公司
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2022-09-15
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2022-12-20
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C23C16/455
- 本实用新型公开了一种ALD加热炉,包括加热箱体,所述加热箱体下端前部和下端后部均安装有两个活动轮,后部所述两个活动轮之间共同安装有移动装置,所述加热箱体前端安装有柜门,所述柜门前端右部安装有把手,所述加热箱体右端中部安装有流量调节装置,所述加热箱体上端左部和上端右部共同安装有加热装置。本实用新型所述的一种ALD加热炉,通过流量调节装置电磁流量计对导入反应物的量进行检测,并将信号传递至控制器上,再由控制器控制电动控制阀的开启或者闭合以对导入量进行把控,通过加热装置上的均流板的设计,其能够使气体平稳均匀的流出,进而提高了成膜均匀性,通过移动装置方便加热箱体进行挪动。
- 一种ald加热炉
- [实用新型]一种IPA干燥设备-CN202222451570.5有效
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汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔;汪小龙
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九未实业(上海)有限公司
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2022-09-16
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2022-12-20
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F26B21/00
- 本实用新型公开了一种IPA干燥设备,包括箱体,所述箱体的前端通过铰链铰接有箱门,所述箱体的左端下部和右端下部均安装有底板,两个所述底板的上端分别安装有喷气部件和输气装置,右侧所述底板的上端前部安装有控制器,所述箱体的上端安装有电动缸,所述电动缸的输送端延伸至箱体内并连接有空心块,所述空心块的下端穿插连接有喷头。本实用新型所述的一种IPA干燥设备,通过设置电动缸、矩形框和电机共同配合能够带动晶元硅片转动,使IPA蒸汽和氮气能够无死角地喷洒在晶元硅片的表面将杂质冲刷下去,提高了清洗的效果,通过设置固定部件和一号弧形板共同配合能够快速对晶元硅片进行固定,同时可避免压力过大对晶元硅片造成损害。
- 一种ipa干燥设备
- [实用新型]一种便于检修的特气柜-CN202222485396.6有效
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汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔;汪小龙
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九未实业(上海)有限公司
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2022-09-20
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2022-12-13
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F17C1/00
- 本实用新型公开了一种便于检修的特气柜,涉及特气柜技术领域,包括特气柜柜体,所述特气柜柜体的后端通过铰链活动安装有后盖板,所述特气柜柜体的前端中部固定安装有一号隔板,所述特气柜柜体的前端上部固定安装有防护机构,所述特气柜柜体的前端下部通过铰链活动安装有安全门,所述安全门上固定安装有门锁。本实用新型,通过设置防护机构,当需要使用进气控制阀和气体流量控制阀对气体的流量进行控制时,利用把手将防护门打开,即可调节气体流量,还可以观察到输气管路的质量情况,若需要对输气管路进行检修,维修人员可直接将手通过检修槽伸入特气柜柜体内进行检修,使得检修更加简便,使得损坏的零部件能够第一时间得到检修,实用性更高。
- 一种便于检修特气柜
- [实用新型]一种改进型特气柜-CN202222499537.X有效
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汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔;汪小龙
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九未实业(上海)有限公司
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2022-09-21
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2022-12-13
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F17C13/00
- 本实用新型公开了一种改进型特气柜,包括特气柜主体,所述特气柜主体的上端前部固定连接有三个固定管,三个所述固定管的上端均固定连接有连接管,三个所述固定管的外表面前部均贯穿并螺纹连接有阀门结构,所述特气柜主体的上端后部固定连接有排风管,所述特气柜主体的下端前部和下端后部均固定连接有移动结构,两个所述移动结构呈对称分布。本实用新型所述的一种改进型特气柜,通过设置阀门结构和移动结构,手握十字扭杆旋转螺杆,防止手滑,便于控制气体开合,结构简单,操作较为便捷,保证特气柜使用的稳固性,避免可移动的特气柜出现自由移动,便于快速固定特气柜,提高特气柜使用的防移性。
- 一种改进型特气柜
- [实用新型]一种高使用寿命的铸铝加热器-CN202221612591.4有效
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汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔
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九未实业(上海)有限公司
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2022-06-27
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2022-10-11
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H05B1/00
- 本实用新型公开了一种高使用寿命的铸铝加热器,包括底座,所述底座上端中部设置有加热桶,所述加热桶上端设置有盖板,所述底座上端左部和上端右部均开设有滑槽,所述底座上端左部和上端右部均固定安装有液压缸,两个所述液压缸之间内侧均固定安装有限位组件,两个所述液压缸呈左右对称分布,所述液压缸输出端设置有推杆,所述推杆右端固定安装有滑块,所述滑块上端固定安装有支板。本实用新型所述的一种高使用寿命的铸铝加热器,通过设置限位组件和液压缸、加热桶,通过液压缸带动推杆,再由推杆带动滑块和支板,使一号限位架和二号限位架便于对加热桶进行限位加固,使得提高稳固性,通过连接座和连接块分离下,使加热桶便于拆卸分离。
- 一种使用寿命加热器
- [实用新型]一种新型汽化柜-CN202221725599.1有效
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汪宇澄;汪雨;陈尚加;罗滔
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九未实业(上海)有限公司
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2022-07-05
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2022-09-20
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F17C7/04
- 本实用新型公开了一种新型汽化柜,包括汽化柜,所述汽化柜下端安装有支撑装置,所述汽化柜上内壁和下内壁之间共同安装有汽化装置,所述汽化柜上端左部和上端右部均安装有两个吊环,所述汽化柜右端上部安装有进液管道,所述汽化柜右端下部安装有出气管道,所述汽化柜右端中部安装有控制调节装置。本实用新型所述的一种新型汽化柜,通过控制调节装置从而使装置能够精确的控制液体汽化量,以满足各种工艺需求,进而提高了装置的实用性,而且通过温度传感器使工作人员随时能够知晓汽化柜的汽化温度,进而方便工作人员进行调节,通过汽化装置和支撑装置减少汽化柜的热量流失,从而提高了汽化柜的汽化效果和效率。
- 一种新型汽化
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