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- [发明专利]X射线分析装置-CN201611227026.5有效
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丸井隆雄;伊藤武史;中村健一郎
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株式会社岛津制作所
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2016-12-27
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2021-01-01
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G01N23/223
- 本发明提供一种能够容易地确认出射窗口的污染的X射线分析装置。X射线分析装置(1)包括能够移动至覆盖开口部(51a)的测定状态和开放开口部(51a)的非测定状态的保护外壳(20)，X射线管(10)将在阳极(11)的端面产生的X射线从框体(13)的出射窗口(13a)出射，检测器(30)检测通过向试样照射X射线而在试样上产生的X射线的强度，光阑(41)在非测定状态时被配置于X射线管(10)的出射窗口(13a)的前方，另一方面，在测定状态时被从X射线管(10)的出射窗口(13a)的前方移除，所述X射线分析装置(1)具有用于在测定状态时对X射线管(10)的出射窗口(13a)进行摄像的摄像装置(45)。
- 射线分析装置
- [发明专利]映射分析装置-CN200910203256.1有效
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丸井隆雄
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株式会社岛津制作所
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2009-05-31
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2009-12-16
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G01N23/225
- 提供一种不花费额外的时间而与观察图像获取单元的视场无关地且也不产生位置偏离地能够得到与映射的观察范围相同的视场的光学观察图像的映射分析装置。具备：映射图像用检测单元(X射线检测器)，对从排列在试样的表面上的多个映射单位区域放出的映射图像用信号进行检测；摄像单元，拍摄试样表面的光学观察图像；信号插值提取电路，从摄像单元的输出信号中除去不是光学信号的部分；图像存储器，保存映射图像用信号检测单元以及信号插值提取电路的输出信号；X-Y台，使试样移动，依次对映射单位区域进行扫描；以及同步控制电路，与X-Y台的移动同步地将映射图像用信号检测单元和信号插值提取电路的输出信号取入到图像存储器中。
- 映射分析装置
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