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[发明专利]紧密级联型1×N光功率分配器-CN201210558146.9在审
发明人：顾皛;叶剑锋;沈伟星;陆志英;陈子勇;陈益新;李雪峰;管玉成;张淼;周林杰;张效衡;李新碗;陈建平 -专利权人：上海信电通通信建设服务有限公司;上海鸿辉光通科技股份有限公司;上海交通大学
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： G02B6/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种紧密级联型光功率分配器，即本分配器包括一个输入波导、N个输出波导和分叉区，分叉区包括级联的个光功率分配器单元，级联数，级联的个光功率分配器单元首级输入端连接输入波导、末级输出端由多段弧形波导和/或多段直波导分别连接N个输出波导，除第一级光功率分配器单元外，任意光功率分配器单元对称轴与所述输入波导轴线相交，所述个光功率分配器单元之间由单段弧形波导连接。本光功率分配器有效提高了集成度，其器件长度小于传统光功率分配器，且随级数增长较慢，能在级联数较高的情况下保持较小的外形尺寸，减小了光器件的插入损耗，具有带宽高、功率分配均匀等优点。
紧密级联功率分配器

[发明专利]在石英基底表面制备二氧化硅膜的方法-CN201210558161.3无效
发明人：顾皛;叶剑锋;沈伟星;陆志英;陈子勇;陈益新;李雪峰;管玉成;张淼;周林杰;张效衡;李新碗;陈建平 -专利权人：上海信电通通信建设服务有限公司;上海鸿辉光通科技股份有限公司;上海交通大学
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种在石英基底表面制备二氧化硅膜的方法，即将石英基底置于载物台，利用氢氧焰高温水解反应在石英基底表面分别依次生长下包层、芯层和上包层，各层生长时氢氧枪选择通入SiCl₄、H₂、O₂、GeCl₄、BCl₃、POCl₃气体，并控制各气体的通气量、载物台温度和生长速度，得到不同厚度的下包层、芯层和上包层，各层生长完毕后分别在真空快速退火炉中进行退火处理，并控制退火炉的升降温速度及保温时间，得到石英基底表面的二氧化硅膜。本方法克服了传统制备方法的缺陷，实现二氧化硅膜折射率的可调，避免退火过程中二氧化硅晶体的析出，提高了制膜效率和质量。
石英基底表面制备二氧化硅方法

[发明专利]一种用于制备晶圆上包层的专用设备-CN201210553007.7在审
发明人：黄惠良;管玉成 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制备晶圆上包层的专用设备，该专用设备安装于旋转平台的上方，若干个晶圆设于所述旋转平台的顶面上且均分于同一圆周上，其特征在于，所述专用设备包括至少两个火炬，所述火炬竖直设置于所述旋转平台的上方，所述火炬向下延伸至所述旋转平台顶面上的垂足均布于同一圆周上，且与所述晶圆所位于的圆周重合。本发明通过增加火炬的数量，在反应速度以及其他条件不改变的情况下，既节约了工作时间，又提高了生产效率。
一种用于制备晶圆上包层专用设备

[发明专利]一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头-CN201210552689.X在审
发明人：黄惠良;李雪峰;陈子勇 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： F16L37/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，接头主体的前端设有环形凹槽，环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，滚珠通孔内设有滚珠，套筒和弹簧套设于环形凹槽部位，套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于接头主体内壁的凸缘，弹簧两端分别抵住套筒的凸缘和环形凹槽的侧槽壁；插头外侧设有与滚珠配合的凸起。本发明快速接头可实现工艺冷却水系统用水管快速便捷的断开和接合，断开水管后，即可对水管中的水垢进行清理，清理完毕后再将水管接合，操作十分简便，保证了工艺冷却水系统的稳定运行，大大提高了感应耦合等离子体刻蚀机的生产稳定性。
一种用于感应耦合等离子体刻蚀快速接头

[发明专利]一种新型三氯氧磷储存罐-CN201210552712.5在审
发明人：黄惠良;李鑫 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： B65D85/84 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型三氯氧磷储存罐，包括罐体和设于该罐体顶部的罐口，所述罐体为双层复合结构，且该罐体的内层是石英材料层，罐体的外层是不锈钢材料层。本发明储存罐主要用于存放三氯氧磷等腐蚀性液体，由于石英材料具有很强的耐腐蚀性，因此由石英材料制成的内层能确保储存罐不被所存放的三氯氧磷等液体氧化，保证了三氯氧磷等液体的纯洁度，也使得三氯氧磷等腐蚀性液体不会接触到由不锈钢材料制成的外层，而不锈钢外层保证了储存罐使用的安全性，由此大大提高了储存罐的使用寿命。
一种新型三氯氧磷储存

[发明专利]一种用于晶圆退火炉的冷却系统-CN201210552984.5在审
发明人：黄惠良;李雪峰;陈子勇 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆退火炉的冷却系统，包括冷冻水系统和冷却水系统，所述冷却水系统包括依次连接并形成封闭循环回路的变频泵、换热器、过滤器和螺旋形冷却水管，所述螺旋形冷却水管缠绕在所述晶圆退火炉的外壁上；冷冻水系统包括冷冻机和循环泵，冷冻机、循环泵和换热器依次连接并形成封闭循环回路。本发明冷却系统大大减少了退火完成后冷却至常温的等待时间，即只需要1个小时就能使其冷却到常温，由此大大提高了产能，每天能多产50片晶圆，同时，设备的利用率也大大提高。
一种用于退火炉冷却系统

[发明专利]一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构-CN201210552670.5在审
发明人：黄惠良;李雪峰;陈子勇 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构，所述感应耦合等离子体刻蚀机包括气体流量器和与该气体流量器通过信号线连接的氦气阀开闭控制装置，所述气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上设有一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地。本发明在气体流量器和氦气阀开闭控制装置之间的信号线上增设一信号过滤器，且该信号过滤器一端接地，由此能够把信号干扰通过接地线排除，使气体流量器发出的信号通过信号过滤器完整地发送到氦气阀开闭控制装置，确保信号稳定的传送。
一种用于感应耦合等离子体刻蚀信号过滤结构

[发明专利]一种光缆用GTL基础油填充膏及其制备方法-CN201310118461.4有效
发明人：黄惠良;沈江波;俞月琴 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2013-04-08 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： G02B6/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种光缆用GTL基础油填充膏，主要由GTL基础油、分油抑制剂、热塑性合成橡胶、抗氧剂和增稠剂组成。还公开了一种光缆用GTL基础油填充膏的制备方法。本发明光缆用GTL基础油填充的主要特性是密度小、低温性能优良，可以在-50℃环境中作为替代合成油的油膏产品安全使用，并具有优良的胶体安定性和氧化安定性、耐热性、耐候性、体系不分油、酸值小；触变指数高，低粘度，抗水性强，不乳化，高温滴流好，适用环境温度宽，可使光纤在松套管内及缆芯在缆内可始终处于最自由的无应力状态。
一种光缆 gtl 基础油填充及其制备方法

[发明专利]Y分叉结构1×2光功率分配器-CN201210558152.4无效
发明人：顾皛;叶剑锋;沈伟星;陆志英;陈子勇;陈益新;李雪峰;管玉成;张淼;周林杰;张效衡;李新碗;陈建平 -专利权人：上海信电通通信建设服务有限公司;上海鸿辉光通科技股份有限公司;上海交通大学
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G02B6/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种Y分叉结构1×2光功率分配器，即本分配器包括高阶模式抑制区、分叉区和模场分离区，高阶模式抑制区由输入锥形波导、模式抑制波导和输出锥形波导依次衔接组成，分叉区由两条单模直波导一端交叉连接组成，输出锥形波导连接两条单模直波导的交叉端，模场分离区由两条S形单模波导构成，两条S形单模波导一端分别连接两条单模直波导另一端。本分配器具有工作带宽大，插入损耗小，功率均分性不受输入信号高阶模式影响，满足各类光网络中信号传输的要求。
分叉结构功率分配器

[实用新型]紧密级联型1×N光功率分配器-CN201220710006.4有效
发明人：顾皛;叶剑锋;沈伟星;陆志英;陈子勇;陈益新;李雪峰;管玉成;张淼;周林杰;张效衡;李新碗;陈建平 -专利权人：上海信电通通信建设服务有限公司;上海鸿辉光通科技股份有限公司;上海交通大学
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： G02B6/125 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种紧密级联型1×N光功率分配器，即本分配器包括一个输入波导、N个输出波导和分叉区，分叉区包括级联的个光功率分配器单元，级联数，级联的个光功率分配器单元首级输入端连接输入波导、末级输出端由多段弧形波导和/或多段直波导分别连接N个输出波导，除第一级光功率分配器单元外，其余光功率分配器单元对称轴与所述输入波导轴线相交，所述个光功率分配器单元之间由单段弧形波导连接。本光功率分配器有效提高了集成度，其器件长度小于传统光功率分配器，且随级数增长较慢，能在级联数较高的情况下保持较小的外形尺寸，减小了光器件的插入损耗，具有带宽高、功率分配均匀等优点。
紧密级联功率分配器

[实用新型]一种高纯度三氯氧磷供料钢瓶-CN201320257464.1有效
发明人：陈子勇;李雪峰;管玉成;黄震寰;赵云翔;李鑫;许晓翠;李方圆;倪智平 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2013-05-13 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： F17C1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高纯度三氯氧磷供料钢瓶，包括钢瓶本体，分别设于钢瓶本体顶部、带有三向氮气进气阀的氮气进气管和带有三向三氯氧磷供料阀的三氯氧磷供料管，两端分别连通所述氮气进气管和三氯氧磷供料管顶部且带有第一阀门的横向管道，以及两端分别连通氮气进气阀和三氯氧磷供料阀且带有第二阀门的连通管道，三氯氧磷供料管的底端插入钢瓶本体的底部，横向管道位于氮气进气阀和三氯氧磷供料阀的上方。本实用新型通过在氮气进气阀和三氯氧磷供料阀之间增设一带阀门的管道，使得靠近氮气进气阀、三氯氧磷供料阀的管路由原先的不能冲刷变成可以冲刷干净，避免了三氯氧磷的残留，使得管道保持畅通，保证了设备的运行安全。
一种纯度三氯氧磷供料钢瓶

[实用新型]一种用于冷却循环水系统的过滤结构-CN201320257448.2有效
发明人：陈子勇;李雪峰;管玉成;黄震寰;赵云翔;李鑫;许晓翠;李方圆;倪智平 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2013-05-13 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： B01D36/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于冷却循环水系统的过滤结构，所述冷却循环水系统上连接有自来水进水管道，所述自来水进水管道上设有第一阀门和第二阀门，位于所述第一阀门和第二阀门两侧的自来水进水管道通过带有第三阀门的旁路管道连通，位于所述第一阀门和第二阀门之间的自来水进水管道上依次设有第一滤芯和第二滤芯。本实用新型在冷却循环水系统的进水管路上增设了两个滤芯，起到双层过滤作用，使自来水杂质充分在两个滤芯里过滤，杂质能沉淀在滤芯中，使得流向下端的水质有明显的提高，保证了下端处机台以及车间的稳定运行。
一种用于冷却循环水系过滤结构

[实用新型]Y分叉结构1×2光功率分配器-CN201220709958.4有效
发明人：顾皛;叶剑锋;沈伟星;陆志英;陈子勇;陈益新;李雪峰;管玉成;张淼;周林杰;张效衡;李新碗;陈建平 -专利权人：上海信电通通信建设服务有限公司;上海鸿辉光通科技股份有限公司;上海交通大学
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： G02B6/125 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种Y分叉结构1×2光功率分配器，即本分配器包括高阶模式抑制区、分叉区和模场分离区，高阶模式抑制区由输入锥形波导、模式抑制波导和输出锥形波导依次衔接组成，分叉区由两条单模直波导一端交叉连接组成，输出锥形波导连接两条单模直波导的交叉端，模场分离区由两条S形单模波导构成，两条S形单模波导一端分别连接两条单模直波导另一端。本分配器具有工作带宽大，插入损耗小，功率均分性不受输入信号高阶模式影响，满足各类光网络中信号传输的要求。
分叉结构功率分配器

[实用新型]一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头-CN201220703836.4有效
发明人：黄惠良;李雪峰;陈子勇 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： F16L37/23 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，接头主体的前端设有环形凹槽，环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，滚珠通孔内设有滚珠，套筒和弹簧套设于环形凹槽部位，套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于接头主体内壁的凸缘，弹簧两端分别抵住套筒的凸缘和环形凹槽的侧槽壁；插头外侧设有与滚珠配合的凸起。本实用新型快速接头可实现工艺冷却水系统用水管快速便捷的断开和接合，断开水管后，即可对水管中的水垢进行清理，清理完毕后再将水管接合，操作十分简便，保证了工艺冷却水系统的稳定运行，大大提高了感应耦合等离子体刻蚀机的生产稳定性。
一种用于感应耦合等离子体刻蚀快速接头

[实用新型]一种新型三氯氧磷储存罐-CN201220703838.3有效
发明人：黄惠良;李鑫 -专利权人： 上海鸿辉光通科技股份有限公司
申请日： 2012-12-18 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： B65D85/84 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型三氯氧磷储存罐，包括罐体和设于该罐体顶部的罐口，所述罐体为双层复合结构，且该罐体的内层是石英材料层，罐体的外层是不锈钢材料层。本实用新型储存罐主要用于存放三氯氧磷等腐蚀性液体，由于石英材料具有很强的耐腐蚀性，因此由石英材料制成的内层能确保储存罐不被所存放的三氯氧磷等液体氧化，保证了三氯氧磷等液体的纯洁度，也使得三氯氧磷等腐蚀性液体不会接触到由不锈钢材料制成的外层，而不锈钢外层保证了储存罐使用的安全性，由此大大提高了储存罐的使用寿命。
一种新型三氯氧磷储存