专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种莱宝机晶圆镀膜夹具-CN202222813050.4有效
  • 万维岩;龚博渊 - 杭州美迪凯光电科技股份有限公司
  • 2022-10-25 - 2023-01-24 - H01L21/687
  • 本实用新型公开了一种莱宝机晶圆镀膜夹具,包括夹具基座,夹具基座为中心开孔的环状结构,夹具基座表面中心内凹设置有夹具安置槽,夹具安置槽内安装有多个磁石,夹具安置槽内通过磁石吸附安装有夹具体,夹具体包括可通过磁石吸附的夹具底板和夹具盖板,夹具底板和夹具盖板为环形结构,夹具底板内沿内凹设置有晶圆安置槽,夹具底板外沿上开设有多条排水槽,夹具盖板配合覆盖夹具底板。本实用新型通过夹具底板、夹具盖板和排水槽的设计,减少清洗过程中水在夹具与产品之间堆积从而导致烘不干出现水印红斑等不良,可以在单面镀膜后直接将夹具和产品一起清洗,从而大大减少了在镀膜后制程下夹具以及清洗时候造成了大量惊碎,大大提升了产品良率。
  • 一种莱宝机晶圆镀膜夹具

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