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[发明专利]陶瓷部件及陶瓷部件的制备方法-CN202180011459.X有效
发明人： 黄成植;吴浚禄;闵庚烈;金京仁;姜仲根;韩荣煜 -专利权人： SK恩普士有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C04B35/563 文献下载
摘要：本实施方式涉及一种陶瓷部件及陶瓷部件的制备方法，提供一种陶瓷部件，其中，其包含碳化硼，在所述陶瓷部件的距中心彼此不同距离的两个位置的表面上测量的残余应力分别为S1和S2，所述S1和S2之差为‑600MPa至+600MPa。根据实施方式，能够提高质量的同时有效地制备在半导体元件的设备所使用的陶瓷部件。
陶瓷部件制备方法

[发明专利]蚀刻装置用环形部件及使用其的基板的蚀刻方法-CN201910739342.8有效
发明人： 黄成植;李在钒;吴浚禄;闵庚烈;金京仁;姜仲根 -专利权人： SKC索密思株式会社
申请日： 2019-08-12 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种蚀刻装置用环形部件及使用其的基板的蚀刻方法，包括：主体，由主体顶面、主体底面、主体外径面及主体内径面围成，主体顶面和主体底面隔开规定间隔，主体外径面为将主体顶面的外侧轮廓线和主体底面的外侧轮廓线相连接的面，主体内径面与主体顶面的内侧轮廓线相连接且包围主体的一部分或全部；及安置部，由安置部顶面、安置部底面及安置部内径面围成，安置部顶面的外径直接连接到主体内径面且安置部顶面位于低于主体顶面的位置，安置部底面与安置部顶面隔开规定间隔且与主体底面连接，安置部内径面为将安置部顶面的内侧轮廓线和安置部底面的内侧轮廓线相连接的面。
蚀刻装置环形部件使用方法

[发明专利]陶瓷部件及包括该陶瓷部件的等离子体蚀刻装置-CN202180010556.7在审
发明人： 黄成植;吴浚禄;闵庚烈;金京仁;姜仲根;韩荣煜 -专利权人： SKC索密思株式会社
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C04B35/563 文献下载
摘要：实施方式涉及一种陶瓷部件及包括其的等离子体蚀刻装置等。一实施方式涉及一种陶瓷部件，其为应用于等离子体蚀刻装置的陶瓷部件，上述陶瓷部件的特征在于，上述陶瓷部件包括复合材料以及与上述复合材料相接填充的基质，上述复合材料包括选自由碳化硼基材料和碳基材料中的一种，上述基质包括碳化硼基材料，上述复合材料的碳化硼基材料在通过拉曼光谱学测定的拉曼位移光谱中，在481cm‑1附近的峰的强度Ia与在534cm‑1附近的峰的强度Ib之总和Iab和在270cm‑1附近的峰的强度Ic与在320cm‑1附近的峰的强度Id之总和Icd的比Iab/Icd为0.7至2.8，上述复合材料的碳基材料在通过拉曼光谱学测定的拉曼位移光谱中，G带峰的强度Ie与D带峰的强度If的比Ie/If为0.2至2。
陶瓷部件包括等离子体蚀刻装置

[发明专利]由碳化钨块构成的等离子体设备用部件-CN201780035133.4有效
发明人： 黄成植;宣镐正;李在钒;吴浚禄;金贤贞;闵庚烈;金京仁 -专利权人： SKC索密思株式会社
申请日： 2017-05-29 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体的耐蚀性优秀且确保等离子体分布的均匀性，并改善电导率及热导率且简化结构的由碳化钨块构成的等离子体设备用部件及制造方法。该部件及方法涉及一种形成用于进行等离子体处理的反应空间的腔体及处于腔体的内部并与等离子体接触的部件，该部件具有等离子体耐蚀性，且体积电阻率为103~10‑6Ωㆍcm的碳化钨块。
碳化构成等离子体备用部件

[发明专利]碳化硼烧结体及包含该碳化硼烧结体的蚀刻装置-CN201910739351.7在审
发明人： 黄成植;李在钒;吴浚禄;闵庚烈;金京仁;姜仲根 -专利权人： SKC索密思株式会社
申请日： 2019-08-12 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C04B35/563 文献下载
摘要：本发明的碳化硼烧结体的特征在于，通过颈缩含碳化硼的颗粒而成，在400℃下测量的导热率值为27W/(m·k)以下。所述碳化硼烧结体具有特定范围内的导热率值，并且具有优秀的耐腐蚀性和耐蚀刻性。
碳化烧结包含蚀刻装置

[发明专利]数据存储设备、控制器以及数据存储设备的操作方法-CN201310502766.5有效
发明人：李元奭;尹恩振;文荣国;黄成植;孙东贤 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G11C16/02 文献下载
摘要：本发明提供了数据存储设备、控制器以及数据存储设备的操作方法。非易失性存储器包括：存储单元阵列，包括多个非易失性存储单元；解码器，通过多个字线与存储单元阵列连接；数据输入/输出电路，通过多个位线与存储单元阵列连接；电压检测器，被配置成检测电源电压的变化以输出电压变化信号；以及控制逻辑，被配置成控制解码器和数据输入/输出电路从而响应于电压变化信号使存储在存储单元阵列中的数据无效。
数据存储设备控制器以及操作方法